[实用新型]一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置

权利要求书

1.一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置，包括清洗槽以及设置在所述清洗槽内的超声波发生器，其特征在于：所述清洗槽内设有清洗架，所述清洗架连接有使所述清洗架上下往复运动的驱动装置，所述清洗架内放置有用于盛放石英晶片的物料架。

2.根据权利要求1所述的一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置，其特征在于：所述驱动装置包括驱动电机、传动凸轮和连杆，所述驱动电机位于所述清洗架的正下方，所述驱动电机的输出轴连接所述传动凸轮，所述连杆的一端安装在所述传动凸轮上，所述连杆的另一端安装在所述清洗架上。

3.根据权利要求1所述的一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置，其特征在于：所述驱动装置包括气缸和安装在所述气缸伸缩轴上的连接杆，所述连接杆的另一端固定在所述清洗架上。

4.根据权利要求2或3所述的一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置，其特征在于：所述清洗架包括主体框架，所述主体框架由若干根支杆焊接而成，所述主体框架两侧上方分别设置有提手。

5.根据权利要求2或3所述的一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置，其特征在于：所述物料架包括物料架框体，所述物料架框体划分若干物料放置区，每个物料放置区设置物料架壁和晶片底部挡板，所述物料架壁为设置在每个物料放置区两侧的物料架框体上的竖隔板，所述晶片底部挡板为设置在每个物料放置区下部的横隔板。

6.根据权利要求4所述的一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置，其特征在于：所述清洗架采用不锈钢材料。

7.根据权利要求5所述的一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置，其特征在于：所述物料架采用不锈钢材料。