[实用新型]内嵌Flash芯片的测试系统

权利要求书

1.一种内嵌Flash芯片的测试系统，待测试内嵌Flash芯片包括Flash模块，其特征在于，所述待测试内嵌Flash芯片的导电衬垫包括第一组导电衬垫和第二组导电衬垫，所述第一组导电衬垫为对所述待测试内嵌Flash芯片中的Flash模块进行测试所需的导电衬垫，所述第二组导电衬垫为对所述待测试内嵌Flash芯片中除Flash模块之外的其他模块进行测试所需的导电衬垫；所述测试系统包括：测试机、测试台、第一探针卡、第二探针卡以及晶圆，其中：所述晶圆，设置在所述测试台上，适于承载所有待测试内嵌Flash芯片，所述所有待测试内嵌Flash芯片被分成多组；

所述测试机，与所述测试台耦接，并与所述第一探针卡以及所述第二探针卡可选择耦接，适于控制所述测试台移动，以将选中组的待测试内嵌Flash芯片的第一组导电衬垫与所述第一探针卡连接；对所述选中组的待测试内嵌Flash芯片的Flash模块进行测试直至完成对所有待测试内嵌Flash芯片的Flash模块的测试；控制所述测试台移动，以将选中组的待测试内嵌Flash芯片的第二组导电衬垫与所述第二探针卡连接，对所述选中组的待测试内嵌Flash芯片中除Flash模块之外的其他模块进行测试，直至完成对所有待测试内嵌Flash芯片中除Flash模块之外的其他模块的测试；

所述第一探针卡，适于与所述选中组的待测试内嵌Flash芯片的第一组导电衬垫连接；

所述第二探针卡，适于与所述选中组的待测试内嵌Flash芯片的第二组导电衬垫连接。

2.如权利要求1所述的内嵌Flash芯片的测试系统，其特征在于，所述待测试内嵌Flash芯片，包括与自身的Flash模块耦接的串并转换电路；所述测试机，适于时分复用所述串并转换电路中的至少一个接口，向所述Flash模块的多个接口发送测试信号，以对所述Flash模块的每个接口进行测试。

3.如权利要求1所述的内嵌Flash芯片的测试系统，其特征在于，所述待测试内嵌Flash芯片的导电衬垫满足如下条件：所述待测试内嵌Flash芯片的导电衬垫在与所述待测试内嵌Flash芯片地面垂直方向上的投影之间的距离大于预设距离，且所述待测试内嵌Flash芯片的导电衬垫投影后的边缘在一条直线或在两条平行线上。

4.如权利要求1所述的内嵌Flash芯片的测试系统，其特征在于，还包括：与所述测试机耦接的烘烤装置；所述测试机，适于对所选中的组待测试内嵌Flash芯片的Flash模块依序进行第一测试、控制烘烤装置对所述晶圆进行烘烤，进行第二测试并获取测试结果；所述第一测试包括如下至少一种：写功能测试、读功能测试、擦除功能测试以及BIST功能测试；所述第二测试包括如下至少一种：写功能测试、读功能测试、擦除功能测试、BIST功能测试以及烘烤后Flash模块中存储的数据是否丢失的测试。