[实用新型]一种太赫兹探测器的均匀性测试装置

权利要求书

1.一种太赫兹探测器的均匀性测试装置，其特征是，包括太赫兹光源，所述太赫兹光源输出的光先后经过光阑和太赫兹分束镜，经过太赫兹分束镜后变成两路，一路为校准路，进入标准功率计，另一路为探测路，探测路的光再经过一太赫兹反射镜进入待测探测器；待测探测器输出的信号经过处理模块进入PC终端；所述待测探测器由平移台带动变换位置，所述平移台的运动由控制系统控制。

2.如权利要求1所述的一种太赫兹探测器的均匀性测试装置，其特征是，所述光阑为孔径可调光阑。

3.如权利要求1所述的一种太赫兹探测器的均匀性测试装置，其特征是，所述处理模块包括串联的放大模块和AD变换模块。

4.如权利要求3所述的一种太赫兹探测器的均匀性测试装置，其特征是，所述放大模块包括串联的差分放大模块和程控放大模块。

5.如权利要求1所述的一种太赫兹探测器的均匀性测试装置，其特征是，所述平移台为二维平移台。