[实用新型]基底片存储器

权利要求书

1.一种基底片存储器，其特征在于，包括：

承载机构，所述承载机构具有多个凹槽(101)，多个所述凹槽(101)沿着所述承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个所述凹槽(101)分别对应一个基底片；

输送机构，所述输送机构用来带动所述凹槽(101)沿着所述承载机构的长度方向移动。

2.如权利要求1所述的基底片存储器，其特征在于，所述承载机构为齿形皮带(100)，所述齿形皮带(100)的齿槽为所述凹槽(101)。

3.如权利要求2所述的基底片存储器，其特征在于，还包括两个滚筒(300)、一个安装架(200)和一个固定架(600)，所述安装架(200)的一端固定在所述固定架(600)上，所述安装架(200)的另一端为自由端，所述安装架(200)的两端分别设置有一所述滚筒(300)，两个所述滚筒(300)之间通过所述齿形皮带(100)传动连接，所述齿形皮带(100)的齿槽朝外设置。

4.如权利要求3所述的基底片存储器，其特征在于，所述齿形皮带(100)的两面分别设置有齿槽，其中，所述齿形皮带(100)一面上的齿槽与所述滚筒(300)啮合，另一面上的齿槽与基底片对应。

5.如权利要求3所述的基底片存储器，其特征在于，所述输送机构包括动力装置、执行机构(500)和底板(400)，所述执行机构(500)的一端连接所述动力装置，另一端穿过所述固定架(600)与所述底板(400)连接，所述底板(400)与所述齿形皮带(100)连接，所述动力装置带动所述执行机构(500)伸缩，进而带动所述齿形皮带(100)转动。

6.如权利要求3所述的基底片存储器，其特征在于，所述输送机构包括动力装置，所述动力装置与所述滚筒(300)连接，所述动力装置带动所述滚筒(300)转动，进而带动所述齿形皮带(100)转动。

7.如权利要求5或6任一项所述的基底片存储器，其特征在于，所述基底片为晶圆片(700)。

8.如权利要求7所述的基底片存储器，其特征在于，所述晶圆片(700)呈方形，呈方形的所述晶圆片(700)每一边分别至少对应一个所述承载机构。

9.如权利要求8所述的基底片存储器，其特征在于，呈方形的所述晶圆片(700)每一边分别对应两个所述承载机构。

10.如权利要求8所述的基底片存储器，其特征在于，所述安装架(200)和所述固定架(600)之间加装有垫片(900)，并通过紧固件(800)固定。