[实用新型]基底片存储器

说明书

技术领域

本实用新型涉及存储器，尤其涉及一种用于晶圆片的存储器。

背景技术

晶圆片在生产线上经过工艺制造后，例如经过化学研磨、清洗、腐蚀清洗或者表面涂布等工艺，需要根据晶圆片的厚度、大小或表面状况等条件以分类存放到相应存储器中，此后，在满足一定数量后再从该存储器中取出，并将分类后的晶圆片转入运输载具，进入下一步工序。

在现有技术中，位于存储器内的晶圆片之间会直接接触，因此造成相互污染，以及在存取过程中会造成晶圆片的磨损，无法满足晶圆片独立存放、不可有任何接触的功能要求。另外，各晶圆片之间由于直接接触，因此晶圆片会相互吸附，在抓取过程中容易造成连带情况，连带发生时晶圆片计数将打乱，以及在抓取过程中连带发生后又掉落会造成产品损坏。

实用新型内容

本实用新型解决上述现有技术中的不足和问题的技术方案是：提供了一种防止基底片相互吸附的存储器。

为达到以上目的，本实用新型提供了一种基底片存储器，包括：

承载机构，所述承载机构具有多个凹槽，多个所述凹槽沿着所述承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个所述凹槽分别对应一个基底片；

输送机构，所述输送机构用来带动所述凹槽沿着所述承载机构的长度方向移动。

进一步，所述承载机构为齿形皮带，所述齿形皮带的齿槽为所述凹槽。

进一步，还包括两个滚筒、一个安装架和一个固定架，所述安装架的一端固定在所述固定架上，所述安装架的另一端为自由端，所述安装架的两端分别设置有一所述滚筒，两个所述滚筒之间通过所述齿形皮带传动连接，所述齿形皮带的齿槽朝外设置。

进一步，所述齿形皮带的两面分别设置有齿槽，其中，所述齿形皮带一面上的齿槽与所述滚筒啮合，另一面上的齿槽与基底片对应。

进一步，所述输送机构包括动力装置、执行机构和底板，所述执行机构的一端连接所述动力装置，另一端穿过所述固定架与所述底板连接，所述底板与所述齿形皮带连接，所述动力装置带动所述执行机构伸缩，进而带动所述齿形皮带转动。

进一步，所述输送机构包括动力装置，所述动力装置与所述滚筒连接，所述动力装置带动所述滚筒转动，进而带动所述齿形皮带转动。

进一步，所述基底片为晶圆片。

进一步，所述晶圆片呈方形，呈方形的所述晶圆片每一边分别至少对应一个所述承载机构。

进一步，呈方形的所述晶圆片每一边分别对应两个所述承载机构。

进一步，所述安装架和所述固定架之间加装有垫片，并通过紧固件固定。

据优选实施例，本实用新型提供了如下优点：

本实用新型通过凹槽与晶圆片对应，有效避免了晶圆片之间的污染和磨损，因此提高了晶圆片的质量。还有，防止了晶圆片之间相互吸附而造成计数错误，以及避免了在抓取过程中因吸附晶圆片掉落所造成的生产线混乱，因此大大提高了生产线的工作效率。

以下结合附图及实施例进一步说明本实用新型。

附图说明

图1为本实用新型所述基底片存储器第一实施例的立体图；

图2为图1应用于晶圆片的示意图；

图3为图1的主视图；

图4为图1中沿A-A向的剖视图；

图5为图1中沿B-B向的剖视图；

图6为本实用新型所述基底片存储器第二实施例的立体图；

图7为图6应用于晶圆片的示意图。

具体实施方式

以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本实用新型的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本实用新型的精神和范围的其他技术方案。

第一实施例

如图1至图5所示，所述基底片存储器包括承载机构和输送机构。

承载机构具有多个凹槽101，多个凹槽101沿着承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个凹槽101可分别对应一个基底片，该基底片包括但不局限于晶圆片700，为了描述本实用新型，将只参照用于晶圆片700，其中，每个凹槽101对应一个晶圆片700，使得相邻的两个晶圆片700之间不存在任何接触，有效防止晶圆片700之间的吸附，而造成连带的发生。