[实用新型]一种硅片的分选屏及硅片检测仪

权利要求书

1.一种硅片的分选屏，用于硅片检测仪，其特征在于，所述分选屏(1)覆盖于硅片检测仪的屏幕上并与所述屏幕上显示的硅片(2)的图像重合，所述分选屏(1)上设置有刻度，所述刻度与靠近的所述分选屏(1)的顶角之间的距离为合格的硅片(2)的黑边宽度临界值。

2.如权利要求1所述的分选屏，其特征在于，所述分选屏(1)的形状为正方形，所述刻度包括分别设置于所述分选屏(1)的每条边上、用于判断具有一字型黑边的硅片(2)是否合格的两个第一刻度值(11)，每个所述第一刻度值(11)距靠近的顶角的距离为所述黑边宽度临界值，

当一字型黑边与所述分选屏(1)的两条边相交形成的两个交点分别至靠近的所述分选屏(1)的顶角的距离均小于所述黑边宽度临界值时，所述硅片(2)合格；

当一字型黑边与所述分选屏(1)的两条边相交形成的两个交点中的任一个至靠近的所述分选屏(1)顶角之间的距离均大于所述黑边宽度临界值时，所述硅片(2)不合格。

3.如权利要求1所述的分选屏，其特征在于，所述刻度包括设置于所述分选屏(1)的每条对角线上、用于判断具有L型黑边的硅片(2)是否合格的两个第二刻度值(12)，每个所述第二刻度值(12)距靠近的所述分选屏(1)的顶角的距离为所述黑边宽度临界值，

当L型黑边与所述分选屏(1)的每条对角线的交点分别至靠近的所述分选屏(1)的顶角的距离均小于所述黑边宽度临界值时，所述硅片(2)合格；

当L型黑边与所述分选屏(1)的每条对角线的交点中的任一个至靠近的所述分选屏(1)的顶角之间的距离大于所述黑边宽度临界值时，所述硅片(2)不合格。

4.如权利要求2或3所述的分选屏，其特征在于，所述刻度还包括沿着所述分选屏(1)的每条边及每条对角线的长度方向等间距排布的第三刻度值(13)，所述第三刻度值(13)用于读取硅片(2)的黑边宽度。

5.如权利要求1-3任一项所述的分选屏，其特征在于，所述黑边宽度临界值为硅片(2)边长的1/8-1/3。

6.如权利要求1-3任一项所述的分选屏，其特征在于，所述分选屏(1)为柔性塑料透明贴纸或玻璃塑料屏幕。

7.一种硅片检测仪，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的分选屏(1)。

8.如权利要求7所述的硅片检测仪，其特征在于，所述硅片检测仪为PL检测仪或EL检测仪。