[实用新型]一种监测激光烧蚀效率的声学装置有效
| 申请号： | 201720558930.8 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN207007776U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 齐婧;张思齐;汤伟冲 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学(北京) |
| 主分类号： | G01N29/032 | 分类号： | G01N29/032 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)11348 | 代理人： | 侯蔚寰 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 监测 激光 效率 声学 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种监测激光烧蚀效率的声学装置，包括激光器（1）、全反镜（2）、示波器（3）、麦克风（4）、容器（5）、聚焦镜（6）和衰减片（7），其特征在于：所述全反镜（2）倾斜安装于激光器（1）的正前方，且激光器（1）的光源发射口与全反镜（2）的中部处于同一水平位置；所述衰减片（7）安装有全反镜（2）的正下方，且全反镜（2）的中部与衰减片（7）的中部处于同一垂线上；所述聚焦镜（6）和容器（5）从上到下依次设置在衰减片（7）的正下方，且容器（5）的内腔底部设置有烧蚀靶材（8）；所述烧蚀靶材（8）的中部与聚焦镜（6）的中部处于同一垂线上；所述麦克风（4）设置在容器（5）开口的边缘处，且麦克风（4）通过导线（9）与示波器（3）电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种监测激光烧蚀效率的声学装置，其特征在于：所述容器（5）内灌有水溶液（10），且烧蚀靶材（8）浸泡在水溶液（10）内。
3.根据权利要求1所述的一种监测激光烧蚀效率的声学装置，其特征在于：所述全反镜（2）的倾斜角度范围为43°～47°。
4.根据权利要求1所述的一种监测激光烧蚀效率的声学装置，其特征在于：所述容器（5）为透明玻璃材料制成。
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