[实用新型]刀具表面连续镀膜装置

权利要求书

1.一种刀具表面连续镀膜装置，其特征在于：它包括两组滑杆和至少三个真空室，分别为预处理室、镀膜室和出样室；

预处理室的外侧为工件转盘的进口，内侧设有插板阀系统，预处理室的真空壁上安装有加热系统、底部设有抽真空系统以及进气口；

镀膜室的两侧分别设有插板阀系统，镀膜室的真空壁上安装有加热系统和镀膜靶材、底部设有抽真空系统以及进气口；

出样室的内侧为插板阀系统，外侧为工件转盘的出口，出样室的真空壁上安装有冷却系统、底部设有抽真空系统和进气口；

三个真空室通过插板阀系统的开启和关闭实现三个真空室间的密封隔离和密封相通，所述插板阀系统上均设有高温密封系统；

两组滑杆设于三个真空室内的底部并贯穿三个真空室，两组滑杆的一端位于预处理室的进口并分别通过电机驱动，每个真空室的中心处均设有卡簧，工件转盘底部中心穿过滑杆并通过滑杆的转动带动工件转盘向前运动到卡簧位置，卡簧支撑工具转盘并带动其旋转。

2.根据权利要求1所述的刀具表面连续镀膜装置，其特征在于：所述电机通过磁流体与预处理室的进口处形成密封连接。

3.根据权利要求2所述的刀具表面连续镀膜装置，其特征在于：三个真空室底部的抽真空系统是单独的三套抽真空系统或并联的抽真空系统。

4.根据权利要求3所述的刀具表面连续镀膜装置，其特征在于：抽真空系统包括分子泵和机械泵以及空气进气系统。

5.根据权利要求4所述的刀具表面连续镀膜装置，其特征在于：每个抽真空系统配有独立的真空计。

6.根据权利要求5所述的刀具表面连续镀膜装置，其特征在于：所述插板阀系统包括板阀、阀门开关气缸和阀板锁紧机构。