[实用新型]刀具表面连续镀膜装置

说明书

本实用新型涉及一种刀具表面连读镀膜装置，包括成直线式连续排列的多个真空室；按照镀膜工艺流程顺序，所述的多个真空室依次为预处理室、镀膜室、出样室。三个真空室之间有插板阀系统可以实现真空室间的保持密封隔离与相通；个真空室在中心处都设置有卡簧装置，是工件转盘在此真空室的固定转动中心，完成工艺流程。各个真空室内部的卡簧系统用于支撑工件支架和保持工作时旋转，卡簧系统由真空室外电机控制旋转，与电机的连接通过磁流体来保证密封效果。本实用新型具有镀膜效果好，镀膜效率高的特点，非常适宜于工业化生产。

技术领域

本实用新型涉及一种刀具表面镀膜，具体的说是刀具表面连续镀膜装置。

背景技术

对于流水线镀膜作业方式已经在镀膜领域开始应用，特别是玻璃----太阳能玻璃镀膜领域应用广泛。但是刀具作为是一种结构复杂、非平面结构的基片，必须保证刀具表面360度镀膜，所以，它的连续镀膜装置与常规涂覆平面的基片的镀膜装置有所区别。

目前刀具表面涂层技术主要以物理气相沉积中的电弧离子镀工艺为主。镀膜的设备一般都是单一的真空室设备，无论是进口的设备还是国产设备都是以单一的真空度模室为主。因此，整个镀膜的工艺流程包括刀具进样。抽高低抽真空、初级加热，二次加热、靶材清洁、沉积过程只能在一个真空室内完成，因此，从加工时效、节约成本、镀膜质量上考量该设备在实际生产应用中存在以下缺陷：

只有一个真空室，所以刀具涂层沉积前的预抽真空预加热过程也在这个真空室内完成，耗时25min左右；与此同时，沉积涂层结束后，无辅助降温手段，单一靠循环水来降温的话，从400℃的真空温度降到200℃的时间需要30min的时间，综合起来，耗时55min以上；

由于只有一个真空室来完成诸多工艺流程，那么真空室的设计和结构就比较复杂，因此维护成本比较高；

由于只有一个真空室，那么整个工艺过程需要打开门门比较频繁，真空室完全暴露在外部环境中，会造成该真空室的污染比较严重，包括对靶材的污染和沉积的涂层质量的影响比较大；

由于只有一个真空室，那么在刀具镀膜时出现的意外状况，比如刀具孔内油污污染等，也只能在这个真空室内通过真空计显示的数值发现并通过降温破真空来处理，所以，比较浪费财力和精力，大大降低了生产效率。类似这样的状况，如果能在镀膜前就及时发现并且合理处置，就避免了资源和时间的浪费。

随着真空高镀膜领域中镀膜技术的不断革新，对镀膜产品的质量要求和时效性要求也越来越高，因此，镀膜生产/生产线也需要不断的创新来满足市场需求。

发明内容

本实用新型旨在克服现有技术的缺陷，提供一种刀具表面连续镀膜装置，刀具表面镀膜效果好、整个镀膜过程更高效节能。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

一种刀具表面连续镀膜装置，其特征在于：它包括两组滑杆和至少三个真空室，分别为预处理室、镀膜室和出样室；

预处理室的外侧为工件转盘的进口，内侧设有插板阀系统，预处理室的真空壁上安装有加热系统、底部设有抽真空系统以及进气口；

镀膜室的两侧分别设有插板阀系统，镀膜室的真空壁上安装有加热系统和镀膜靶材、底部设有抽真空系统以及进气口；

出样室的内侧为插板阀系统，外侧为工件转盘的出口，出样室的真空壁上安装有冷却系统、底部设有抽真空系统和进气口；

三个真空室通过插板阀系统的开启和关闭实现三个真空室间的密封隔离和密封相通，所述插板阀系统上均设有高温密封系统；

两组滑杆设于三个真空室内的底部并贯穿三个真空室，两组滑杆的一端位于预处理室的进口并分别通过电机驱动，每个真空室的中心处均设有卡簧，工件转盘底部中心穿过滑杆并通过滑杆的转动带动工件转盘向前运动到卡簧位置，卡簧支撑工具转盘并带动其旋转。