[实用新型]工件转运装置

说明书

技术领域

本申请涉及线切割技术领域，特别是涉及一种工件转运装置。

背景技术

在制造各种半导体器件或光伏器件时，将包含硅、蓝宝石、或陶瓷等硬脆材料的半导体工件切割为规格尺寸的结构。由于半导体工件切割是制约后续成品的重要工序，因而对其作业要求也越来越高。目前，多线切割技术由于具有生产效率高、作业成本低、作业精度高等特点，被广泛应用于产业的半导体工件切割生产中。

多线切割技术是目前世界上较为先进的半导体工件切割技术，它的原理是通过高速运动的金刚线对待作业的半导体工件进行切割形成目标产品。

以晶体硅棒切割为例，一般地，大致的作业工序包括：先使用截断机对原初的长硅棒进行截断作业以形成多段短硅棒，截断完成后，又使用开方机对截断后的短硅棒进行开方作业后形成晶硅方体，后续再使用切片机对晶硅方体进行切片作业，则得到硅片。不过，一般情况下，在相关技术中，每个工序作业所需的作业是独立布置，作业设备分散在不同的生产单位或生产车间或生产车间的不同生产区域，执行不同工序作业的工件的转换需要进行搬运调配，这样，工序繁杂，效率低下，需更多的人力或转运设备，安全隐患大，另外，各个工序的作业设备之间的流动环节多，在工件转移过程中提高了工件损伤的风险，易产生非生产因素造成的不合格，降低了产品的合格率及现有的加工方式所带来的不合理损耗，是各个公司面临的重大改善课题。

实用新型内容

鉴于以上所述的种种缺失，本申请的目的在于公开一种工件转运装置，用于解决相关技术中存在的工件转运效率低下等问题。

为实现上述目的及其他目的，本申请在一方面公开一种工件转运装置，应用于多线切割设备中，所述多线切割设备具有上下料工位和作业工位，所述工件转运装置包括：换向载具；第一夹具，设于所述换向载具的第一夹具区，用于夹持第一形态工件；第二夹具，设于所述换向载具的第二夹具区，用于夹持第二形态工件；其中，通过驱动所述换向载具作换向运动，使得所述换向载具上的所述第一夹具和所述第二夹具在上下料工位和作业工位之间转换以转运夹持住的相应工件。

本申请公开的工件转运装置，包括换向载具及设于换向载具上的第一夹具和第二夹具，第一夹具用于夹持第一形态工件，第二夹具用于夹持第二形态工件，通过驱动换向载具作换向运动，可使得第一夹具在上下料工位和作业工位之间转换以将位于上下料工位的第一形态工件转运至作业工位以及第二夹具在作业工位和上下料工位之间转换以将位于作业工位处已完成切割作业的第二形态工件转运至上下料工位，如此，可实现工件的快速且便捷地转运，提高了工件的转运效率，另外，第一夹具和第二夹具结构简单且可稳固地夹持住工件。

在某些实施方式中，所述第一夹具包括：第一夹具安装件，设于所述换向载具上；至少两个第一夹持件，沿着所述第一夹具安装件间距设置；所述第二夹具包括：第二夹具安装件，设于所述换向载具上；至少两个第二夹持件，沿着所述第二夹具安装件间距设置。

在某些实施方式中，所述第一夹持件包括：第一夹臂安装座，设于所述夹具安装件上；至少两个第一夹臂，活动设于所述第一夹臂安装座上；第一夹臂驱动机构，用于驱动所述至少两个第一夹臂作开合动作；所述第二夹持件包括：第二夹臂安装座，设于所述夹具安装件上；至少两个第二夹臂，活动设于所述第二夹臂安装座上；第二夹臂驱动机构，用于驱动所述至少两个第二夹臂作开合动作。

在某些实施方式中，所述第一夹臂驱动机构包括：第一开合齿轮，设于所述第一夹臂上；第一齿轮驱动件，具有与所述第一夹臂上的第一开合齿轮啮合的第一齿纹；第一驱动源，连接于所述第一齿轮驱动件，用于驱动所述第一齿轮驱动件运动；所述第二夹臂驱动机构包括：第二开合齿轮，设于所述第二夹臂上；第二齿轮驱动件，具有与所述第二夹臂上的第二开合齿轮啮合的第二齿纹；第二驱动源，连接于所述第二齿轮驱动件，用于驱动所述第二齿轮驱动件运动。

在某些实施方式中，所述第一齿轮驱动件为第一齿条，所述第一齿条的相对两侧分别设有与所述至少两个第一夹臂上的第一开合齿轮啮合对应的第一齿纹；所述第一驱动源为用于带动所述第一齿条运动的第一气缸或第一驱动电机；所述第二齿轮驱动件为第二齿条，所述第二齿条的相对两侧分别设有与所述至少两个第二夹臂上的第二开合齿轮啮合对应的第二齿纹；所述第二驱动源为用于带动所述第二齿条运动的第二气缸或第二驱动电机。