[实用新型]MOS晶体管有效

专利信息
申请号: 201720578231.X 申请日: 2017-05-23
公开(公告)号: CN207217541U 公开(公告)日: 2018-04-10
发明(设计)人: G·M·格利瓦纳 申请(专利权)人: 半导体元件工业有限责任公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/78
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 代理人: 申发振
地址: 美国亚*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: mos 晶体管
【权利要求书】:

1.一种MOS晶体管,包括:

半导体衬底;

第一掺杂区,所述第一掺杂区覆盖在所述半导体衬底上面,所述第一掺杂区具有主表面;

第二掺杂区,所述第二掺杂区向所述第一掺杂区中延伸第一距离;

第三掺杂区,所述第三掺杂区基本上向所述第一掺杂区中延伸所述第一距离,所述第三掺杂区与所述第二掺杂区间隔开;

所述第一掺杂区的第一部分,所述第一部分定位在所述第二掺杂区与所述第三掺杂区之间,所述第一掺杂区的所述第一部分沿着所述第一距离邻接所述第二掺杂区和所述第三掺杂区;以及

MOS晶体管的控制电极,所述控制电极基本上从所述主表面向所述第一掺杂区的第二部分中延伸基本上所述第一距离,所述控制电极被设置成邻近所述第一掺杂区的所述第一部分并且在所述第二掺杂区与所述第三掺杂区之间,其中所述控制电极被配置为形成沟道区,用于电流从所述第二掺杂区横向穿过所述第一掺杂区的所述第一部分而到达所述第三掺杂区,其中所述沟道区中的所述电流延伸穿过所述第一掺杂区的所述第一部分,并且所述沟道区穿过所述第一掺杂区的所述第一部分纵向延伸所述第一距离。

2.根据权利要求1所述的MOS晶体管,其中所述控制电极具有沿所述第二掺杂区与所述第三掺杂区之间的方向而横向延伸的栅极长度,和沿着所述第一距离而延伸到所述第一掺杂区中的宽度。

3.根据权利要求1所述的MOS晶体管,其中所述控制电极不覆盖在所述第一掺杂区的所述主表面上面。

4.根据权利要求1所述的MOS晶体管,其中所述第一掺杂区、所述第二掺杂区和所述控制电极形成三侧形状,所述三侧形状延伸到所述第一掺杂区中,其中所述第二掺杂区形成所述三侧形状中的一侧,所述第三掺杂区形成所述三侧形状的相对侧,所述控制电极形成所述三侧形状的连接侧,并且所述第一掺杂区的所述第一部分延伸到所述三侧形状的开口中,其中所述开口包括被所述三侧形状的三个侧面封闭的空间。

5.根据权利要求1所述的MOS晶体管,其中所述第一掺杂区、所述第二掺杂区和所述控制电极形成在开口中,所述开口形成在所述第一掺杂区中。

6.一种MOS晶体管,包括:

第一掺杂区,所述第一掺杂区具有第一主表面和第二主表面,所述第二主表面被定位成与所述第一主表面相对;

开口,所述开口向所述第一掺杂区中延伸一定距离;

第二掺杂区,所述第二掺杂区延伸到所述开口中;

第三掺杂区,所述第三掺杂区延伸到所述开口中并且与所述第二掺杂区间隔开;以及

被形成为第四掺杂区的所述MOS晶体管的控制电极,所述第四掺杂区延伸到所述开口中并且定位在所述第二掺杂区与所述第三掺杂区之间,所述控制电极被配置为形成在源极区与漏极区之间横向延伸的沟道区,所述控制电极向所述第一掺杂区中延伸第一距离并且邻接所述沟道区,所述控制电极被形成为具有栅极长度和栅极宽度,所述栅极长度基本上平行于所述第一主表面延伸,所述栅极宽度基本上垂直于所述第一主表面延伸并且还延伸到邻近所述沟道区的所述第一掺杂区中。

7.根据权利要求6所述的MOS晶体管,其中所述控制电极包括栅极宽度,所述栅极宽度基本上从所述第一主表面向所述第一掺杂区中延伸所述距离。

8.一种MOS晶体管,包括:

第一掺杂区,所述第一掺杂区具有第一主表面和第二主表面,所述第二主表面被定位成与所述第一主表面相对;

第二掺杂区,所述第二掺杂区在所述第一主表面与所述第二主表面之间向所述第一掺杂区中延伸第一距离;

第三掺杂区,所述第三掺杂区基本上向所述第一掺杂区中延伸所述第一距离,所述第三掺杂区与所述第二掺杂区间隔开;

所述第一掺杂区的第一部分,所述第一部分定位在所述第二掺杂区与所述第三掺杂区之间,所述第一掺杂区的所述第一部分沿着所述第一距离邻接所述第三掺杂区;以及

MOS晶体管的控制电极,所述控制电极延伸到所述第一掺杂区中,所述控制电极被配置为形成沟道,所述沟道具有沟道宽度和沟道长度,所述沟道宽度基本上在所述第一主表面与所述第二主表面之间延伸第一距离,所述沟道长度基本上平行于所述第一主表面延伸,其中所述沟道宽度大于所述沟道长度。

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