[实用新型]激光除胶设备有效
申请号: | 201720588044.X | 申请日: | 2017-05-24 |
公开(公告)号: | CN206975397U | 公开(公告)日: | 2018-02-06 |
发明(设计)人: | 胡小强 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | G03F1/82 | 分类号: | G03F1/82 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司31264 | 代理人: | 杨波 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 设备 | ||
1.一种激光除胶设备,其特征在于,包括除胶装置(10),所述除胶装置(10)包括激光器(12)和吸附管(13),所述激光器(12)的镜头和所述吸附管(13)的吸附口聚拢到一起。
2.如权利要求1所述的激光除胶设备,还包括承载台(11),所述激光器(12)的镜头和所述吸附管(13)的吸附口处于所述承载台(11)的同侧。
3.如权利要求1所述的激光除胶设备,其特征在于,设置有多个吸附管(13),所述多个吸附管(13)环绕设置在所述激光器(12)的周围。
4.如权利要求1所述的激光除胶设备,其特征在于,所述除胶装置(10)还包括吸附泵(14),所述吸附泵(14)通过连接管(15)连接至所述吸附管(13)。
5.如权利要求4所述的激光除胶设备,其特征在于,所述连接管(15)为多个,每个吸附管(13)通过一个所述连接管(15)连接至所述吸附泵(14)。
6.如权利要求4所述的激光除胶设备,其特征在于,所述连接管(15)及所述吸附泵(14)均为多个,每个吸附管(13)通过一个所述连接管(15)连接至一个所述吸附泵(14)。
7.如权利要求1所述的激光除胶设备,其特征在于,所述激光除胶设备还包括支撑架(50),所述支撑架(50)用于固定所述激光器(12)及所述吸附管(13)。
8.如权利要求1所述的激光除胶设备,其特征在于,所述激光除胶设备还包括与所述除胶装置(10)协同工作的自动光学检测装置(40),所述自动光学检测装置(40)包括探测镜头(41)。
9.如权利要求8所述的激光除胶设备,其特征在于,所述自动光学检测装置(40)还包括拍摄镜头(42)。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备