[实用新型]一种带尾气处理器的真空长膜设备

权利要求书

1.一种带尾气处理器的真空长膜设备，其特征在于：包括长膜设备、风机（3）与装有处理液的处理池（2），所述长膜设备包括壳体（11）、支座（12）、进料单元（13）与排气管（14），所述进料单元（13）设置于壳体（11）一侧并连接壳体（11）用于向壳体（11）内喷入反应物，所述支座（12）设置于壳体（11）内，并在支座（12）上设置有多个晶圆使反应物发生反应后在晶圆（121）上形成膜层；所述排气管（14）一端连接壳体（11），另一端伸进处理池（2）的处理液内用于将反应过程中产生的尾气排进处理液内处理，并在排气管（14）上设置有压力阀（141）以调节壳体（11）内的气压；所述处理池（2）内设置有一悬空于处理液上方的输送管（21）用于将经处理液处理后的尾气输送走。

2.根据权利要求1所述的一种带尾气处理器的真空长膜设备，其特征在于：所述风机（3）设置于排气管（14）上用于将长膜设备内的尾气抽进处理池（2）内。

3.根据权利要求1所述的一种带尾气处理器的真空长膜设备，其特征在于：所述风机（3）设置于输送管（21）上用于将长膜设备内的尾气抽进处理池（2）内。