[实用新型]一种固晶设备贴片固定结构有效
申请号: | 201720605199.X | 申请日: | 2017-05-27 |
公开(公告)号: | CN206806313U | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 姚为权 | 申请(专利权)人: | 广东瑞谷光网通信股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/68 |
代理公司: | 广州高炬知识产权代理有限公司44376 | 代理人: | 杨明辉 |
地址: | 523000 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 设备 固定 结构 | ||
1.一种固晶设备贴片固定结构,包括工作台及设置在工作台的工件载具,其特征在于,所述工作台上一横向定位挡板及一竖向定位挡板,所述工作台设置有真空吸附结构,真空吸附结构包括设置于工作台上表面的若干通槽,及设置于侧面的若干通孔,所述通孔与通槽互相配合工作,所述工作台设置有一针头汽缸,所述针头汽缸与横向定位挡板及竖向定位挡板具互相配合工作。
2.根据权利要求1所述的固晶设备贴片固定结构,其特征在于,还包括一真空检测器,所述通孔上设置有第一气管,所述第一气管与真空检测器相连接。
3.根据权利要求2所述的固晶设备贴片固定结构,其特征在于,所述针头汽缸后端设置有第二气管,所述第二气管与真空检测器相连接。
4.根据权利要求3所述的固晶设备贴片固定结构,其特征在于,还包括一供气设备,所述真空检测器通过第三气管与供气设备相连接。
5.根据权利要求1所述的固晶设备贴片固定结构,其特征在于,所述工作台上设有工件载具定位卡槽。
6.根据权利要求1所述的固晶设备贴片固定结构,其特征在于,所述工作台侧面四周设置有若干倒角部,所述倒角部与针头汽缸配合使用。
7.根据权利要求1所述的固晶设备贴片固定结构,其特征在于,所述工件载具包括载具承载部及若干模具固定部,所述模具固定部突出设置在载具承载部上部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造