[实用新型]一种光配向曝光设备

权利要求书

1.一种光配向曝光设备，其特征在于：与曝光方向垂直的方向上设有相互平行的至少两个灯箱，每个所述灯箱内设置有上下两排相互对应的灯管，每排设有等间距排列的多个灯管，每个灯管呈平行四边形；每个灯管上下两个平行边与曝光方向垂直，每个灯管左右两个平行边与曝光方向呈一定角度的夹角。

2.根据权利要求1所述的光配向曝光设备，其特征在于：上排灯管与对应的下排灯管共用一个水平边，该水平边为灯管的上下平行边。

3.根据权利要求2所述的光配向曝光设备，其特征在于：上下两排灯管的夹角为30°～150°。

4.根据权利要求2所述的光配向曝光设备，其特征在于：上下两排灯管的夹角为0°。

5.根据权利要求3或4所述的光配向曝光设备，其特征在于：灯管左右两个平行边与曝光方向的夹角为15°～75°。

6.根据权利要求5所述的光配向曝光设备，其特征在于：灯管左右两个平行边的边长不小于灯管上下两个平行边的边长。

7.一种光配向曝光设备，其特征在于：包括灯箱，所述灯箱内设有沿与曝光方向垂直的多排灯管，上一排灯管与下一排灯管呈错位排布，位于同一排相邻的灯管首尾相接，每排灯管中灯管的间距一致。

8.根据权利要求7所述的光配向曝光设备，其特征在于：灯箱内非首排灯管和末排灯管为正方形灯管，该正方形灯管的每一边与曝光方向之间的夹角为45°或135°。

9.根据权利要求8所述的光配向曝光设备，其特征在于：每个正方形灯管设有位于上端的上端顶点、位于下端的下端顶点、位于左端的左端顶点以及位于右端的右端顶点；位于同一排的正方形灯管的右端顶点接触或靠近相邻正方形灯管的左端顶点；设定上一排的正方形灯管的下端顶点位于该排相邻的下一排的相邻的两个正方形灯管之间。

10.根据权利要求8所述的光配向曝光设备，其特征在于：灯箱内首排灯管和末排灯管为等腰三角形灯管，首排每个等腰三角形灯管设有位于下端的下端顶点、位于左端的左端顶点以及位于右端的右端顶点；末排每个等腰三角形灯管设有位于上端的上端顶点、位于左端的左端顶点以及位于右端的右端顶点；位于同一排的等腰三角形灯管的右端顶点接触或靠近相邻等腰三角形灯管的左端顶点；其中，首排等腰三角形灯管的下端顶点位于相邻下一排相邻的两个正方形灯管之间；末排等腰三角形灯管的上端顶点位于相邻上一排相邻的两个正方形灯管之间。