[实用新型]一种光配向曝光设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光配向曝光设备，属于TFT-LCD液晶显示光配向曝光设备技术领域。

背景技术

由于摩擦配向工艺为接触式液晶定向技术，存在诸多问题，因此目前在TFT-LCD液晶显示技术领域选用光配向技术替代传统的摩擦配向制程。光配向技术是一种通过紫外光光源照射，引发液晶面板上配向膜发生光致聚合、光致异构或光致分解反应，产生表面的各向异性，进而诱发液晶层液晶分子取向的方法。光配向方法具有对液晶面板配向力强、清洁、无污染等优点，该方法能够让液晶分子有序的排列在配向膜表面，因此其具有广泛的应用前景。行业内光配向工艺中选用的紫外光波长主要有254nm、313nm和365nm等。如图1所示，现有的光配向曝光设备结构为：与曝光方向垂直的方向上设有相互平行的3排灯箱，每排灯箱中设有等间距排列的多个灯管，每个灯管呈长方形，每个灯管上下两个平行边与曝光方向垂直，每个灯管左右两个平行边与曝光方向平行。这样的曝光设备每排灯箱内灯管间存在间隔，间隔与光源下方会存在轻微的明暗环境，当光配向工艺中紫外光波长由313nm变为365nm，对应需要曝光能力也由20mJ/cm²提升至2000mJ/cm²，随着能量的提升，基板长时间在明暗差异的环境中曝光，局部位置曝光不均的问题会凸显出来，导致LCD液晶显示屏出现色不均现象。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型所要解决的技术问题是提供一种光配向曝光设备，该曝光设备通过对灯源(灯管)结构的调整有效改善了曝光过程中产生的横纵条纹mura。

实用新型内容：为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术手段为：

一种光配向曝光设备，与曝光方向垂直的方向上设有相互平行的至少两个灯箱，每个所述灯箱内设置有上下两排相互对应的灯管，每排设有等间距排列的多个灯管，每个灯管呈平行四边形；每个灯管上下两个平行边与曝光方向垂直，每个灯管左右两个平行边与曝光方向呈一定角度的夹角。

其中，上排灯管与对应的下排灯管共用一个水平边，该水平边为灯管的上下平行边。

其中，上下两排灯管的夹角为30°～150°。

其中，上下两排灯管的夹角为0°。

其中，灯管左右两个平行边与曝光方向的夹角为15°～75°。

其中，灯管左右两个平行边的边长不小于灯管上下两个平行边的边长。

一种光配向曝光设备，包括灯箱，所述灯箱内设有沿与曝光方向垂直的多排灯管，上一排灯管与下一排灯管呈错位排布，位于同一排相邻的灯管首尾相接，每排灯管中灯管的间距一致。

其中，灯箱内非首排灯管和末排灯管为正方形灯管，该正方形灯管的每一边与曝光方向之间的夹角为45°或135°。

其中，每个正方形灯管设有位于上端的上端顶点、位于下端的下端顶点、位于左端的左端顶点以及位于右端的右端顶点；位于同一排的正方形灯管的右端顶点接触或靠近相邻正方形灯管的左端顶点；设定上一排的正方形灯管的下端顶点位于该排相邻的下一排的相邻的两个正方形灯管之间。

其中，灯箱内首排灯管和末排灯管为等腰三角形灯管，首排每个等腰三角形灯管设有位于下端的下端顶点、位于左端的左端顶点以及位于右端的右端顶点；末排每个等腰三角形灯管设有位于上端的上端顶点、位于左端的左端顶点以及位于右端的右端顶点；位于同一排的等腰三角形灯管的右端顶点接触或靠近相邻等腰三角形灯管的左端顶点；其中，首排等腰三角形灯管的下端顶点位于相邻下一排相邻的两个正方形灯管之间；末排等腰三角形灯管的上端顶点位于相邻上一排相邻的两个正方形灯管之间。

相比于现有技术，本实用新型技术方案具有的有益效果为：

本实用新型光配向曝光设备通过将各排灯管的形状进行调整，有效避免了基板固定位置长时间在明暗存在差异的环境中曝光，从而改善了光配向产品因设备灯源间的间距而导致的曝光不均产生横纵条纹mura的问题。

附图说明

图1为现有技术中光配向曝光设备的结构示意图；

图2为本实用新型实施例1光配向曝光设备的结构示意图；

图3为本实用新型实施例2光配向曝光设备的结构示意图；

图4为本实用新型实施例3光配向曝光设备的结构示意图；

图5本实用新型实施例1光配向曝光设备的使用示意图；

其中，图2～图4中，L为有效曝光区域，A为曝光方向；图5中，B为基板移动方向，10为基板。

具体实施方式