[实用新型]一种高强度的裸芯片有效
申请号: | 201720612804.6 | 申请日: | 2017-05-30 |
公开(公告)号: | CN206742232U | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 邹时晨 | 申请(专利权)人: | 邹时晨 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/14 |
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地址: | 518055 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 强度 芯片 | ||
技术领域
本实用新型涉及电路板制造技术领域,具体涉及一种高强度的裸芯片。
背景技术
常规的电源电子模块中,电源半导体芯片,例如MOSFET或IGBT芯片通常采用引线键合方式与基板连接。然而,由于其较长的互连尺寸,在开关电源中容易产生较大的应力和较大的电磁干扰(EMI)噪声。另外,随着电力电子半导体器件的快速发展,开关频率越来越高,装置体积进一步减小,寄生参数对电源性能和可靠性的影响也越来越显著,器件的功耗也越来越大。将电源芯片直接埋入印刷线路板内部,可以有效解决以上问题。
但是,电源芯片(裸芯片),通常为硅质的芯片,比较脆弱,在电路板生产工艺中,容易破碎。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:本实用新型提供一种高强度的裸芯片,裸芯片不易破损,能够适应埋入式电路板的生产要求。
一种高强度的裸芯片,一面为铝电极,另一面为非铝电极,还包括基体层,铝电极和非铝电极分别设置于基体层的两侧,基体层设置有纵横交错的加强筋;基体层的2根以上的加强筋从基体层的周侧伸出呈支撑臂状。
优选的,加强筋从基体层的中部向周侧的外部伸出,加强筋为金属制成的加强筋。
优选的,铝电极至少包括三层金属层:铝层、金层、铝层,金层位于中间层,金层的厚度在5um以上。
优选的,金层与底层铝层和上层铝层的交界面分别设置有凹凸度为1~2um的凹坑和凸起,铝层的铝和金层的金交错填平凹坑和凸起;
金层与上层铝层交界处的金的晶粒直径为5~100nm,其中,晶粒直径为5~10nm的晶粒的体积分数在3%以上;
金层与底层铝层交界处的铝的晶粒直径为15~100nm,其中,晶粒直径为10~15nm的晶粒的体积分数在5%以上。
优选的,金层与上层铝层交界处的厚度为2~2.5um。
优选的,中间金层与底层铝层交界处的厚度为2~2.5um。
优选的,基体层的主体材料为硅。
优选的,加强筋为铜与硅的化合物制成的加强筋。
本实用新型还提供了一种埋入式电路板。
优选的,电路板内埋入有高强度的裸芯片,裸芯片包括基体层和位于基体层两侧面的铝电极和非铝电极,基体层设置有纵横交错的加强筋;基体层的2根以上的加强筋从基体层的周侧伸出呈支撑臂状;电路板的至少一部分电路与铝电极,或非铝电极连通。
优选的,加强筋从基体层的中部向周侧的外部伸出,加强筋为金属制成的加强筋。
优选的,铝电极至少包括三层金属层:铝层、金层、铝层,金层位于中间层,金层的厚度在5um以上。
优选的,金层与底层铝层和上层铝层的交界面分别设置有凹凸度为1~2um的凹坑和凸起,铝层的铝和金层的金交错填平凹坑和凸起;
金层与上层铝层交界处的金的晶粒直径为5~100nm,其中,晶粒直径为5~10nm的晶粒的体积分数在3%以上;
金层与底层铝层交界处的铝的晶粒直径为15~100nm,其中,晶粒直径为10~15nm的晶粒的体积分数在5%以上。
优选的,金层与上层铝层交界处的厚度为2~2.5um。
优选的,高强度的裸芯片嵌入电路板的芯材的通孔内,通孔周侧开设有槽,呈支撑臂状的加强筋设置于槽内。
优选的,裸芯片与通孔的周侧的间隙为30~100um;裸芯片与通孔的周侧的间隙填充有电镀铜。
优选的,呈支撑臂状的加强筋与槽的周侧的间隙为30~100um;呈支撑臂状的加强筋与槽的周侧的间隙填充有电镀铜。
优选的,非铝电极为铜电极、金电极或镍钯金电极。
本实用新型的有益效果是:一种高强度的裸芯片,一面为铝电极,另一面为非铝电极,还包括基体层,铝电极和非铝电极分别设置于基体层的两侧,基体层设置有纵横交错的加强筋;基体层的2根以上的加强筋从基体层的周侧伸出呈支撑臂状。本实用新型提供一种高强度的裸芯片,在传统硅质基体层裸芯片基体层内设置加强筋,从而使得裸芯片不易破损,能够适应埋入式电路板的生产要求。本实用新型还提供了包含上述裸芯片的电路板。
附图说明
下面结合附图对本实用新型的高强度的裸芯片作进一步说明。
图1是本实用新型一种高强度的裸芯片的结构示意图。
图2是本实用新型一种埋入式电路板的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图1~2对本实用新型一种高强度的裸芯片作进一步说明。
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