[实用新型]一种单晶硅片的清洗装置

权利要求书

1.一种单晶硅片的清洗装置，包括底座（1）和U型框（2），所述底座（1）上端固定连接U型框（2）的一端，所述U型框（2）的一侧壁贯通插接有进水管（3）的一端，U型框（2）的另一侧壁贯通插接有出水管（4）的一端，其特征在于：所述U型框（2）的侧壁为中空结构，U型框（2）的内壁上固定连接有硅片放置盒（18），硅片放置盒（18）的侧壁上开设有通孔，且U型框（2）的两侧壁上开设的导轨槽中滑动插接有盖板（5）的两端，所述盖板（5）为中空结构，盖板（5）空腔内壁转动连接有第二固定轴（12）的一端，第二固定轴（12）上固定套接有第二轮盘（81），所述第二轮盘（81）通过传动带（13）与第一轮盘（8）连接，所述第一轮盘（8）固定套接在第一固定轴（11）上，第一固定轴（11）的一端贯穿盖板（5）的上端并与第一电机（7）上的第一转轴连接，第一电机（7）通过第一支撑杆（16）固定在盖板（5）的上端上，所述第一固定轴（11）和第二固定轴（12）的另一端均贯穿盖板（5）的下端并与紫外线灯（9）连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的清洗装置，其特征在于：所述U型框（2）侧壁的空腔内壁固定连接有第二支撑杆（17）的一端，第二支撑杆（17）的另一端与第二电机（14）的底端固定连接，所述第二电机（14）上的第二转轴与凸轮（15）连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片的清洗装置，其特征在于：所述第二电机（14）和凸轮（15）的数目仅为三个。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的清洗装置，其特征在于：所述紫外线灯（9）内设有电阻丝（10），所述盖板（5）的上端与拉把（6）的两端固定连接，盖板（5）的下端固定连接有风机（19），且风机（19）的数目为三个。