[实用新型]一种单晶硅片的清洗装置有效

专利信息
申请号: 201720631284.3 申请日: 2017-06-02
公开(公告)号: CN206838634U 公开(公告)日: 2018-01-05
发明(设计)人: 李秀春 申请(专利权)人: 福建鑫隆光伏科技有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10;A61L2/10;A61L2/04;F26B21/00
代理公司: 北京天奇智新知识产权代理有限公司11340 代理人: 曾捷
地址: 353300 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 清洗 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及硅生产技术领域,具体为一种单晶硅片的清洗装置。

背景技术

利用硅单晶所生产的太阳能电池可以直接将太阳能转化为光能,开启了绿色能源的新时代。而在硅片加工过程中,单晶硅片易附着颗粒、有机物、金属或是吸附杂质分子,这会严重影响后期组装成的太阳能电池的性能,因此需要对单晶硅片进行清洗,而现有的清洗装置结构复杂,且清洁效果不好,同时现有的清洗装置也不具备干燥的作用,为此,提出,一种单晶硅片的清洗装置。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片的清洗装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶硅片的清洗装置,包括底座和U型框,所述底座上端固定连接U型框的一端,所述U型框的一侧壁贯通插接有进水管的一端,U型框的另一侧壁贯通插接有出水管的一端,所述U型框的侧壁为中空结构,U型框的内壁上固定连接有硅片放置盒,硅片放置盒的侧壁上开设有通孔,且U型框的两侧壁上开设的导轨槽中滑动插接有盖板的两端,所述盖板为中空结构,盖板空腔内壁转动连接有第二固定轴的一端,第二固定轴上固定套接有第二轮盘,所述第二轮盘通过传动带与第一轮盘连接,所述第一轮盘固定套接在第一固定轴上,第一固定轴的一端贯穿盖板的上端并与第一电机上的第一转轴连接,第一电机通过第一支撑杆固定在盖板的上端上,所述第一固定轴和第二固定轴的另一端均贯穿盖板的下端并与紫外线灯连接。

优选的,所述U型框侧壁的空腔内壁固定连接有第二支撑杆的一端,第二支撑杆的另一端与第二电机的底端固定连接,所述第二电机上的第二转轴与凸轮连接。

优选的,所述第二电机和凸轮的数目仅为三个。

优选的,所述紫外线灯内设有电阻丝,所述盖板的上端与拉把的两端固定连接,盖板的下端固定连接有风机,且风机的数目为三个。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:此单晶硅片的清洗装置结构简单,通过加入紫外线灯、电阻丝和凸轮的组合结构,利用紫外线灯的旋转照射,对单晶硅片进行灭菌,再利用凸轮的偏心转而引起的震动,加深乙醇溶液与单晶硅片之间的接触,加大清洗力度,最后利用电阻丝对乙醇溶液进行加热,使有机杂质分子更易融进乙醇溶液,进一步加大了清洁效果,同时,利用紫外线灯、电阻丝和风机,对单晶硅片起到烘干、灭菌的作用,实现清洁、干燥的一体化设置。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中:底座1、U型框2、进水管3、出水管4、盖板5、拉把6、第一电机7、第一轮盘8、第二轮盘81、紫外线灯9、电阻丝10、第一固定轴11、第二固定轴12、传动带13、第二电机14、凸轮15、第一支撑杆16、第二支撑杆17、硅片放置盒18、风机19。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1,本实用新型提供一种技术方案:

一种单晶硅片的清洗装置,包括底座1和U型框2,底座1上端固定连接U型框2的一端,U型框2的一侧壁贯通插接有进水管3的一端,U型框2的另一侧壁贯通插接有出水管4的一端,进水管3处贯通连接有泵,泵外接电源,U型框2的侧壁为中空结构,U型框2侧壁的空腔内壁固定连接有第二支撑杆17的一端,第二支撑杆17的另一端与第二电机14的底端固定连接,第二电机14上的第二转轴与凸轮15连接,第二电机14和凸轮15的数目仅为三个,且U型框2的内壁上固定连接有硅片放置盒18,硅片放置盒18的侧壁上开设有通孔,且U型框2的两侧壁上开设的导轨槽中滑动插接有盖板5的两端,盖板5为中空结构,盖板5的上端与拉把6的两端固定连接,盖板5的下端固定连接有风机19,且风机19的数目为三个,盖板5空腔内壁转动连接有第二固定轴12的一端,第二固定轴12上固定套接有第二轮盘81,第二轮盘81通过传动带13与第一轮盘8连接,第一轮盘8固定套接在第一固定轴11上,第一固定轴11的一端贯穿盖板5的上端并与第一电机7上的第一转轴连接,第一电机7通过第一支撑杆16固定在盖板5的上端上,第一固定轴11和第二固定轴12的另一端均贯穿盖板5的下端并与紫外线灯9连接,紫外线灯9外涂有防潮材料,紫外线灯9内设有电阻丝10。

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