[实用新型]一种镀于分光棱镜上的分光介质膜有效
申请号: | 201720646670.X | 申请日: | 2017-06-06 |
公开(公告)号: | CN206848507U | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 徐裕宏 | 申请(专利权)人: | 松林光电科技(湖北)有限公司 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;G02B27/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 432000 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分光 棱镜 介质 | ||
1.一种镀于分光棱镜上的分光介质膜,包括镀于分光棱镜上的膜系,其特征在于:所述膜系为多层结构,包括总数为103层,且交替分布的高折射率薄膜、次高折射率薄膜和低折射率薄膜,所述膜系从上至下依次为MLHLM(HL)^2HMHLHMHL(HM)^5(HL)^10HM(HL)^2HM(HL)^8(HM)^2(HL)^14,其中H为高折射率薄膜,M为次高折射率薄膜,L为低折射率薄膜。
2.如权利要求1所述的一种镀于分光棱镜上的分光介质膜,其特征在于:所述高折射率薄膜厚度为7.3-140.4nm,所述次高折射率薄膜厚度为56.6~201.4nm,所述低折射率薄膜厚度为5.0~311.2nm。
3.如权利要求1或2所述的一种镀于分光棱镜上的分光介质膜,其特征在于:所述高折射率薄膜为Nb2O5薄膜或者Ti3O5薄膜,折射率为2.3~2.4。
4.如权利要求1或2所述的一种镀于分光棱镜上的分光介质膜,其特征在于:所述次高折射率薄膜为镧铝混合膜料M2,折射率为1.65~1.75。
5.如权利要求1或2所述的一种镀于分光棱镜上的分光介质膜,其特征在于:所述低折射率薄膜为SiO2薄膜,折射率为1.46。
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