[实用新型]晶圆盒气体交换设备

权利要求书

1.一种晶圆盒气体交换设备，其特征在于，所述晶圆盒气体交换设备包含：

一固定平台；

一旋转机构，其设置于所述固定平台；

一承载座，其设置于所述固定平台，且所述承载座与所述旋转机构相连接，而所述旋转机构能使所述承载座相对于所述固定平台旋转，所述承载座用以承载一晶圆盒，所述承载座包含有多个气体导引组件，所述气体导引组件用以与一进气管的一端及一出气管的一端相连接，且所述气体导引组件、所述进气管及所述出气管能相互配合，而对所述晶圆盒的内部空间进行气体交换作业；以及

至少一导轮，其设置于所述固定平台，所述导轮的外缘具有一环状导槽，所述环状导槽用以提供所述进气管及所述出气管设置；

其中，当所述旋转机构带动所述承载座旋转时，所述进气管及所述出气管能受所述导轮的导引，而稳定地对所述晶圆盒的内部空间进行气体交换作业。

2.依据权利要求1所述的晶圆盒气体交换设备，其特征在于，所述晶圆盒气体交换设备还包含有一管路导引结构，所述管路导引结构与所述承载座相连接，所述管路导引结构能随所述承载座相对于所述固定平台旋转，所述管路导引结构能于所述承载座旋转时，限制所述进气管的部分区段及所述出气管的部分区段的活动。

3.依据权利要求2所述的晶圆盒气体交换设备，其特征在于，所述管路导引结构呈现为弧状，且所述管路导引结构包含有一固定组件，所述固定组件能使所述进气管的一端及所述出气管的一端固定设置于所述管路导引结构；当所述管路导引结构随所述承载座旋转时，所述管路导引结构能对应贴合于所述进气管的部分区段及所述出气管的部分区段；所述固定组件能使所述进气管的及所述出气管的上下并排地固定设置于所述管路导引结构。

4.依据权利要求1所述的晶圆盒气体交换设备，其特征在于，所述晶圆盒气体交换设备包含有两个所述导轮，所述进气管及所述出气管环绕设置于其中一个所述导轮的所述环状导槽时，所述进气管及所述出气管能被限制而呈现为彼此左右并排的设置；所述进气管及所述出气管环绕设置于另一个所述导轮的环状导槽时，所述进气管及所述出气管能被限制而呈现为彼此上下并排的设置。

5.依据权利要求1至4其中任一项所述的晶圆盒气体交换设备，其特征在于，其中一个所述导轮包含有多个限位结构，各个所述限位结构彼此间隔地设置于所述导轮的外缘，各个所述限位结构能使环绕设置于所述环状导槽中的所述进气管及所述出气管，由彼此左右并排的设置，转换为彼此上下并排的设置。

6.依据权利要求5所述的晶圆盒气体交换设备，其特征在于，各个所述限位结构具有一穿孔，各个所述穿孔与所述固定平台的垂直距离不同，而所述进气管及所述出气管能通过多个所述穿孔环绕设置于所述环状导槽。

7.一种晶圆盒气体交换设备，其特征在于，所述晶圆盒气体交换设备包含：

一固定平台；

一气管组件，其包含一进气管及一出气管；

一旋转机构，其设置于所述固定平台；

一承载座，其设置于所述固定平台，且所述承载座与所述旋转机构相连接，而所述旋转机构能使所述承载座相对于所述固定平台旋转，所述承载座用以承载一晶圆盒，所述承载座包含有多个气体导引组件，所述进气管的一端及所述出气管的一端与所述气体导引组件相连接；其中，所述进气管及所述出气管透过所述气体导引组件，能与设置于所述承载座的所述晶圆盒的内部空间相连通，所述气体导引组件、所述进气管及所述出气管能相互配合，而对所述晶圆盒的内部空间进行气体交换作业；

至少一导轮，其设置于所述固定平台，所述导轮的外缘具有一环状导槽，所述环状导槽用以提供所述进气管及所述出气管设置；

其中，所述进气管及所述出气管的部分区段能设置于所述环状导槽中；

当所述旋转机构带动所述承载座旋转时，所述进气管及所述出气管能受所述导轮的导引，而稳定地对所述晶圆盒中的内部空间进行气体交换作业。

8.依据权利要求7所述的晶圆盒气体交换设备，其特征在于，所述晶圆盒气体交换设备还包含有一管路导引结构，所述管路导引结构包含有一固定组件，所述固定组件能使所述进气管的一端及所述出气管的一端固定设置于所述管路导引结构；当所述管路导引结构随所述承载座旋转时，所述管路导引结构能对应贴合于所述进气管的部分区段及所述出气管的部分区段；所述固定组件能使所述进气管的及所述出气管的上下并排地固定设置于所述管路导引结构。