[实用新型]镀膜治具及镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜治具，其特征在于，包括：镀膜板和夹具组；

所述夹具组包括：若干个固定夹板组件和若干个移动夹板组件，

若干个所述固定夹板组件与若干个所述移动夹板组件共同在所述镀膜板上形成至少一个可调节的安装区域；所述安装区域用于放置基片，且所述固定夹板组件和移动夹板组件分别加紧对应的所述基片的棱角。

2.根据权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述安装区域的形状为矩形，在所述安装区域相邻的两个棱角部位分别设置有固定夹板组件，在所述安装区域相邻的另外两个棱角部位分别设置有移动夹板组件。

3.根据权利要求2所述的镀膜治具，其特征在于，所述固定夹板组件包括：第一夹具固定板和第一夹具压板；

所述第一夹具固定板固定所述镀膜板上，所述第一夹具固定板的侧端设置用于放置基片的棱角的第一开口槽，且所述第一开口槽贯穿所述第一夹具固定板的上端；

所述第一夹具压板设置在所述第一夹具固定板的上端，且通过第一紧固组件穿过所述第一夹具压板与所述镀膜板螺纹连接。

4.根据权利要求2所述的镀膜治具，其特征在于，所述移动夹板组件包括：第二夹具固定板和第二夹具压板；

所述第二夹具固定板与所述镀膜板上可滑动连接，使所述第二夹具固定板能够向相对的所述固定夹板组件移动；所述第二夹具固定板的侧端设置用于放置基片的棱角的第二开口槽，所述第二开口槽贯穿所述第二夹具固定板的上端；

所述第二夹具压板设置在所述第二夹具固定板的上端，且通过第二紧固组件穿过所述第二夹具压板与所述第二夹具固定板螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的镀膜治具，其特征在于，所述第二夹具固定板的下端面设置有凸起，在所述镀膜治具的相对位置设置有与所述凸起相匹配的卡槽，且所述卡槽的延伸线穿过相对的所述固定夹板组件。

6.根据权利要求4所述的镀膜治具，其特征在于，所述移动夹板组件还包括弹性元件，通过弹性元件使所述第二夹具固定板的侧壁与所述镀膜板弹性连接，以使所述移动夹板组件能够向相对的所述固定夹板组件的方向往复运动。

7.根据权利要求6所述的镀膜治具，其特征在于，在所述镀膜板设置有第一容置槽，两个所述移动夹板组件和两个所述固定夹板组件依次设置在所述第一容置槽的四个棱角部位；

通过所述弹性元件使第二夹具固定板的侧壁和相对的所述第一容置槽的侧壁连接。

8.根据权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述镀膜板包括相连的第一镀膜板和第二镀膜板，所述第一镀膜板的膜板面与第二镀膜板的膜板面形成的钝角大于180°；

所述第一镀膜板与第二镀膜板均设置有所述夹具组。

9.一种镀膜设备，其特征在于，包括：镀膜装置、镀膜炉本体和权利要求1－8任一项所述的镀膜治具；

所述镀膜装置设置在所述镀膜炉本体的下端，所述镀膜治具设置在所述镀膜装置的上方。

10.根据权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，还包括用于检测所述基片的镀膜厚度的膜厚监控器。