[实用新型]镀膜治具及镀膜设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜的技术领域，尤其是涉及一种镀膜治具及镀膜设备。

背景技术

工业上常用真空镀膜设备进行镀膜已完成基片表面沉积膜层形成保护膜的工作。其中，采用真空条件可以减少空气分子与靶材的分子相碰撞或者发生反应，使渡到基片的薄膜能够致密牢固。并且，基片通常使用镀膜治具进行固定夹紧。

但是，目前的镀膜治具通常使用夹具组对基片夹紧，更换新的基片时，需要通过拧开夹具组，取出基片，这样更换复杂，浪费时间。

实用新型内容

本实用新型的第一个目的在于提供一种镀膜治具，以解决现有镀膜治具安装基片不方便的技术问题。

本实用新型提供的一种镀膜治具，包括：镀膜板和夹具组；

所述夹具组包括：若干个固定夹板组件和若干个移动夹板组件，

若干个所述固定夹板组件与若干个所述移动夹板组件共同在所述镀膜板上形成至少一个可调节的安装区域；所述安装区域用于放置基片，且所述固定夹板组件和移动夹板组件分别加紧对应的所述基片的棱角。

进一步的，所述安装区域的形状为矩形，在所述安装区域相邻的两个棱角部位分别设置有固定夹板组件，在所述安装区域相邻的另外两个棱角部位分别设置有移动夹板组件。

进一步的，所述固定夹板组件包括：第一夹具固定板和第一夹具压板；

所述第一夹具固定板固定所述镀膜板上，所述第一夹具固定板的侧端设置用于放置基片的棱角的第一开口槽，且所述第一开口槽贯穿所述第一夹具固定板的上端；

所述第一夹具压板设置在所述第一夹具固定板的上端，且通过第一紧固组件穿过所述第一夹具压板与所述镀膜板螺纹连接。

进一步的，所述移动夹板组件包括：第二夹具固定板和第二夹具压板；

所述第二夹具固定板与所述镀膜板上可滑动连接，使所述第二夹具固定板能够向相对的所述固定夹板组件移动；所述第二夹具固定板的侧端设置用于放置基片的棱角的第二开口槽，所述第二开口槽贯穿所述第二夹具固定板的上端；

所述第二夹具压板设置在所述第二夹具固定板的上端，且通过第二紧固组件穿过所述第二夹具压板与所述第二夹具固定板螺纹连接。

进一步的，所述第二夹具固定板的下端面设置有凸起，在所述镀膜治具的相对位置设置有与所述凸起相匹配的卡槽，且所述卡槽的延伸线穿过相对的所述固定夹板组件。

进一步的，所述移动夹板组件还包括弹性元件，通过弹性元件使所述第二夹具固定板的侧壁与所述镀膜板弹性连接，以使所述移动夹板组件能够向相对的所述固定夹板组件的方向往复运动。

进一步的，在所述镀膜板设置有第一容置槽，两个所述移动夹板组件和两个所述固定夹板组件依次设置在所述第一容置槽的四个棱角部位；

通过所述弹性元件使第二夹具固定板的侧壁和相对的所述第一容置槽的侧壁连接。

进一步的，所述镀膜板包括相连的第一镀膜板和第二镀膜板，所述第一镀膜板的膜板面与第二镀膜板的膜板面形成的钝角大于180°；

所述第一镀膜板与第二镀膜板均设置有所述夹具组。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果：

本实用新型提供的镀膜治具，通过夹具组固定基片的位置。具体的，夹具组包括若干固定夹板组件和若干移动夹板组件，通过固定夹板组件与移动夹板组件共同形成一个安装区域，用于放置基片，由于移动夹板组件的位置可以调节，使安装区域可以调节大小。其中，通过固定夹板组件和移动夹板组件卡紧基片的棱角，可以更好的起到固定基片的效果。夹具组安装基片的过程为，首先通过若干固定夹板组件固定基片的部分棱角，然后调节移动夹板组件的位置，使移动夹板组件紧固基片的剩余棱角，实现夹板组固定基片的目的。

该镀膜治具的固定基片的方式更加简单，不需要拆卸夹具组，就能够实现对基片的固定，且操作方便，能够大大的节约时间，提高了安装基片的效率。

本实用新型的第二个目的在于提供一种镀膜设备，以解决现有镀膜设备安装基片不方便的技术问题。

本实用新型提供的镀膜设备，包括：镀膜装置、镀膜炉本体和所述的镀膜治具；

所述镀膜装置设置在所述镀膜炉本体的下端，所述镀膜治具设置在所述镀膜装置的上方。

进一步的，镀膜设备还包括用于检测所述基片的镀膜厚度的膜厚监控器。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果：