[实用新型]CVD镀膜机及镀膜装置

权利要求书

1.一种CVD镀膜机，其特征在于，包括：箱体、喷气装置和激光装置；

所述箱体内设置有带动所述喷气装置移动的移动组件，所述喷气装置与所述移动组件连接，所述移动组件包括平移组件和升降组件；

所述激光装置设置在所述喷气装置外壁。

2.根据权利要求1所述的CVD镀膜机，其特征在于，所述喷气装置包括储气箱和喷嘴，所述储气箱底部设置有进气口，所述储气箱通过输气管与气源连通。

3.根据权利要求2所述的CVD镀膜机，其特征在于，所述平移组件与所述储气箱侧壁连接，所述升降组件与所述储气箱底部连接。

4.根据权利要求2所述的CVD镀膜机，其特征在于，所述平移组件包括与所述储气箱连接的连接杆和带动所述连接杆运动的第一动力源。

5.根据权利要求2所述的CVD镀膜机，其特征在于，所述升降组件包括与所述储气箱连接的伸缩杆和带动所述伸缩杆运动的第二动力源。

6.根据权利要求2所述的CVD镀膜机，其特征在于，所述激光装置包括激光源和激光聚集器，所述激光聚集器并排均匀的设置在所述喷嘴的两侧。

7.根据权利要求6所述的CVD镀膜机，其特征在于，所述储气箱外壁设置有用于放置激光源的固定槽。

8.根据权利要求1所述的CVD镀膜机，其特征在于，还包括带动待镀膜材料移动的进给装置，所述进给装置包括第一滚筒、第二滚筒和第三动力源。

9.根据权利要求1－8任一项所述的CVD镀膜机，其特征在于，还包括冷却装置，冷却装置位于所述箱体内部。

10.一种镀膜装置，其特征在于，包括上料机构、传送带和权利要求1－9任一项所述的CVD镀膜机；

所述上料机构通过传送带与所述CVD镀膜机连接。