[实用新型]一种用于搬运晶圆盒的移动机器人

权利要求书

1.一种用于搬运晶圆盒的移动机器人，包括机器人本体、设于所述机器人本体上的载物台、设于所述载物台上的机械臂以及连接在所述机械臂末端的机械手，其特征在于：

加工设备上每个晶圆盒放置位设有定位结构；

所述机器人本体为全自主移动机器人，包括第一障碍物探测单元、定位结构检测单元、晶圆盒检测单元、控制单元以及行走单元，所述第一障碍物探测单元设于所述机器人本体的前，后位置，所述定位结构检测单元设于所述机械手上，所述晶圆盒检测传感器设于所述载物台上每个晶圆盒放置位上，所述控制单元的输入端连接所述第一障碍物探测单元、所述定位结构检测单元以及所述晶圆盒检测单元，所述控制单元的输出端连接所述行走单元和所述机械臂；

所述机械臂为轻型机械臂。

2.根据权利要求1所述的用于搬运晶圆盒的移动机器人，其特征在于，所述全自主移动机器人还包括第二障碍物探测单元，所述第二障碍物探测单元设于所述机器人本体的左，右位置，所述第二障碍物检测单元与所述控制单元的输入端连接。

3.根据权利要求1或2所述的用于搬运晶圆盒的移动机器人，其特征在于，所述障碍物检测单元为激光传感器和超声波传感器。

4.根据权利要求1所述的用于搬运晶圆盒的移动机器人，其特征在于，所述定位结构为定位二维码，所述定位结构检测单元为视觉检测传感器。

5.根据权利要求1所述的用于搬运晶圆盒的移动机器人，其特征在于，所述晶圆盒检测单元为光电检测传感器。

6.根据权利要求1所述的用于搬运晶圆盒的移动机器人，其特征在于，所述载物台上每个晶圆盒放置位设有限制晶圆盒水平移位的限位结构，所述限位结构具有与晶圆盒接触的限位侧壁，所述限位侧壁的上端设置为倾斜导向侧壁，所述倾斜导向侧壁自下而上渐远所述晶圆盒。

7.根据权利要求1所述的用于搬运晶圆盒的移动机器人，其特征在于，所述载物台的外边缘位置设有开口向上的储水槽，所述储水槽的槽底低于所述载物台，所述储水槽的其中一槽壁的上边缘与所述载物台的外边缘无缝对接并且齐平。

8.根据权利要求7所述的用于搬运晶圆盒的移动机器人，其特征在于，所述储水槽中设有液位传感器并连接有排水电磁阀，所述液位传感器与所述控制单元的输入端连接，所述排水电磁阀与所述控制单元的输出端连接。

9.根据权利要求8所述的用于搬运晶圆盒的移动机器人，其特征在于，所述储水槽的另一槽壁的上边缘高于所述载物台并限制所述晶圆盒的水平移位。

10.根据权利要求1所述的用于搬运晶圆盒的移动机器人，其特征在于，所述机器人本体的外罩壳包括前罩壳、后罩壳、左罩壳以及右罩壳，所述前，后罩壳为向外凸出的弧面形，所述左罩壳上安有控制面板，所述控制面板设有开关机按钮和紧急停止按钮，所述右罩壳为抽屉结构，所述右罩壳拉开后放置所述机械臂自带的示教触摸屏。