[实用新型]一种用于搬运晶圆盒的移动机器人

说明书

技术领域

本实用新型属于机器人领域，具体涉及一种用于搬运晶圆盒的移动机器人。

背景技术

在电子半导体领域，晶圆是集成电路制造的基本材料，所有集成电路的设计和制造，都是以晶圆为载体，因其外形为圆形，故称之为晶圆。晶圆厚度一般不足1毫米，重量轻，脆性大，表面洁净度要求高，晶圆通常放置在晶圆盒内完成搬移与运输工作。

目前，晶圆盒主要通过手动方式完成在各加工设备中的取放工作，然后借助人工推车完成晶圆盒在各产线及加工设备间的运输。人工小推车一般由焊接钢管和四个万向脚轮构成，附加一个晶圆盒的放置平板。

同时，部分自动化车间在自动引导运输车(Automated Guided Vehicle，简称AGV)上集成机械臂，完成物料的抓取和运输工作，逐步替代人工操作的方式。

晶圆包括多个与液体直接接触的工艺。工人虽然操作时佩戴手套，但也降低人手操作的灵敏性；在直接取放晶圆盒后，手表面湿滑度增加，抓取晶圆盒时容易出现料盒滑落状况。同时，工人在与晶圆盒的直接接触中，可能对加工造成污染，影响晶圆加工质量。另外，工人手动从加工设备中取放过程中的磕碰、放置不到位等不确定性因素，也会造成晶圆的损坏、报废，对生产带来更大的损失。同时，人工取放的方式，存在人工响应不及时的可能性，容易造成生产堆积现象，降低生产效率。AGV需要在地面铺设磁条，按照磁条导引前行，虽然能提高车间自动化程度，但灵活性低，路线调整时，需要拆除原有磁条，重新铺设新磁条；同时，AGV转弯时需要按照弧形线路行进，占用区域大，浪费空间。

目前，我国人工成本大幅提高，原有的成本优势已不存在，而现在逐步应用的AGV平台，线路固定，柔性差，转弯半径较大，造成工作空间的浪费。

发明内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种用于搬运晶圆盒的移动机器人，在全自主移动机器人上集成轻型机械臂，完成晶圆盒取放和运输工作，实现全自动化生产。本产品稳定可靠，路线灵活，占用空间小，能根据产线需求，及时响应。

本实用新型的一种用于搬运晶圆盒的移动机器人，包括机器人本体、设于所述机器人本体上的载物台、设于所述载物台上的机械臂以及连接在所述机械臂末端的机械手，其中：

加工设备上每个晶圆盒放置位设有定位结构；

所述机器人本体为全自主移动机器人，包括第一障碍物探测单元、定位结构检测单元、晶圆盒检测单元、控制单元以及行走单元，所述第一障碍物探测单元设于所述机器人本体的前，后位置，所述定位结构检测单元设于所述机械手上，所述晶圆盒检测传感器设于所述载物台上每个晶圆盒放置位上，所述控制单元的输入端连接所述第一障碍物探测单元、所述定位结构检测单元以及所述晶圆盒检测单元，所述控制单元的输出端连接所述行走单元和所述机械臂；

所述机械臂为轻型机械臂。

优选的，所述全自主移动机器人还包括第二障碍物探测单元，所述第二障碍物探测单元设于所述机器人本体的左，右位置，所述第二障碍物检测单元与所述控制单元的输入端连接。

优选的，所述障碍物检测单元为激光传感器和超声波传感器

优选的，所述定位结构为定位二维码，所述定位结构检测单元为视觉检测传感器。

优选的，所述晶圆盒检测单元为光电检测传感器。

优选的，所述载物台上每个晶圆盒放置位设有限制晶圆盒水平移位的限位结构，所述限位结构具有与晶圆盒接触的限位侧壁，所述限位侧壁的上端设置为倾斜导向侧壁，所述倾斜导向侧壁自下而上渐远所述晶圆盒。

优选的，所述载物台的外边缘位置设有开口向上的储水槽，所述储水槽的槽底低于所述载物台，所述储水槽的其中一槽壁的上边缘与所述载物台的外边缘无缝对接并且齐平。

优选的，所述储水槽中设有液位传感器并连接有排水电磁阀，所述液位传感器与所述控制单元的输入端连接，所述排水电磁阀与所述控制单元的输出端连接。

优选的，所述储水槽的另一槽壁的上边缘高于所述载物台并限制所述晶圆盒的水平移位。

优选的，所述机器人本体的外罩壳包括前罩壳、后罩壳、左罩壳以及右罩壳，所述前，后罩壳为向外凸出的弧面形，所述左罩壳上安有控制面板，所述控制面板设有开关机按钮和紧急停止按钮，所述右罩壳为抽屉结构，所述右罩壳拉开后放置所述机械臂自带的示教触摸屏。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：