[实用新型]利用MOCVD尾气制氢的装置有效
申请号: | 201720732974.8 | 申请日: | 2017-06-22 |
公开(公告)号: | CN207227005U | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 刘祥林;罗湘桂;鲍坚仁;吴福水 | 申请(专利权)人: | 湖南高安新材料有限公司 |
主分类号: | C01B3/56 | 分类号: | C01B3/56 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司11257 | 代理人: | 赵晓丹 |
地址: | 414009 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 利用 mocvd 尾气 装置 | ||
1.利用MOCVD尾气制氢的装置,其特征在于,所述装置包含:气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器和气体二次纯化装置;
其中,所述气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器和气体二次纯化装置依次连接。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述气体二次纯化装置由第二变温吸附净化设备和/或第二变压吸附提氢器组成;
其中,当所述气体二次纯化装置由第二变温吸附净化设备和第二变压吸附提氢器组成时,所述第一变压吸附提氢器、第二变温吸附净化设备和第二变压吸附提氢器依次连接;或,所述第一变压吸附提氢器、第二变压吸附提氢器和第二变温吸附净化设备依次连接。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述装置还包含:靶触媒催化反应装置,所述靶触媒催化反应装置设于第二变温吸附净化设备内。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一变压吸附提氢器上设有解析气出口,第一变温吸附净化设备上设有再生进气口;所述第一变压吸附提氢器的解析气出口与第一变温吸附净化设备的再生进气口连接。
5.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述第二变压吸附提氢器上设有解析气出口;第二变压吸附提氢器的解析气出口与气体压缩机的进气口连接。
6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述气体压缩机的压力范围为8~50bar。
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