[实用新型]利用MOCVD尾气制氢的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及发光二极管制备技术领域。更具体地，涉及一种利用MOCVD尾气制氢的装置。

背景技术

在MOCVD生产LED中，MOCVD设备一方面需要大量的氢气供应，另一方面有大量排出含有氢气的尾气。由于MOCVD设备排出的尾气中含有氨气，目前人们最常采用的方法是用水吸收氨气来处理尾气，然后直接放空，这些含氢尾气大量排放到空气中，一方面造成资源浪费，另一方面也会给生产厂区造成火灾隐患。

经过水吸收后的尾气，主要有以下气体成分(按比例排序)：氮气(60～80％)、氢气(15～35％)、水汽(～3％)、氨气(～1％)、其它所有杂质(～1％)。以上比例只是大致估算，实际上有可能有较大的出入，而且与LED生产厂家的工艺参数相关。如何能采用简单的装置、方法，有效循环利用这些氢气，一直是LED生产厂家需要考虑的问题。

实用新型内容

针对以上问题，本实用新型的目的在于提供一种利用MOCVD尾气制氢的装置。

为达到上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

利用MOCVD尾气制氢的装置，所述装置包含：气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器和气体二次纯化装置；

其中，所述气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器和气体二次纯化装置依次连接。

优选地，所述气体二次纯化装置由第二变温吸附净化设备和/或第二变压吸附提氢器组成；

其中，当所述气体二次纯化装置由第二变温吸附净化设备和第二变压吸附提氢器组成时，所述第一变压吸附提氢器、第二变温吸附净化设备和第二变压吸附提氢器依次连接；或，所述第一变压吸附提氢器、第二变压吸附提氢器和第二变温吸附净化设备依次连接。

优选地，所述装置还包含：靶触媒催化反应装置，所述靶触媒催化反应装置设于第二变温吸附净化设备内。

优选地，所述第一变压吸附提氢器上设有解析气出口，第一变温吸附净化设备上设有再生进气口；所述第一变压吸附提氢器的解析气出口与第一变温吸附净化设备的再生进气口连接。

优选地，所述第二变压吸附提氢器上设有解析气出口；第二变压吸附提氢器的解析气出口与气体压缩机的进气口连接。

优选地，所述气体压缩机的压力范围为8～50bar。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型装置结构简单、成本低，便于LED生产厂家使用。

此外，本实用新型利用MOCVD尾气制氢的效率高且制氢的杂质少，不仅解决了MOCVD尾气排放造成的环境污染问题，还能将制得的氢用作MOCVD原料气使用。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

图1为实施例1的利用MOCVD尾气制氢的装置的结构示意图。

图2为实施例2的利用MOCVD尾气制氢的装置的结构示意图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型，下面结合优选实施例和附图对本实用新型做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本实用新型的保护范围。

为了进一步说明本实用新型的内容，以下对其中的一些技术名词作进一步解释：

本实用新型所述的“MOCVD尾气”，是指在LED生产过程中，MOCVD设备排出的尾气通过水吸收装置后得到的含氢尾气，即这些气体是已经过水吸收装置后，其中大部分氨气已被水吸收掉的气体，而不是由MOCVD设备直接排出来的气体。其中“水吸收装置”在LED生产厂家经常使用，属于成熟技术，不属于本实用新型的内容。MOCVD尾气中主要由以下气体成分(按比例排序)：氮气(60～80％)、氢气(15～35％)、水汽(～3％)、氨气(～1％)、其它所有杂质(～1％)。以上比例只是大致估算，实际上有可能有较大的出入，而且与LED生产厂家的工艺参数相关。

本实用新型所述的“MOCVD”，是英文Metal Organic Chemical Vapor Deposition的缩写，中文意思是“金属有机物化学气相外延”。MOCVD是LED厂家最关键的设备。

本实用新型所述的“LED”，是英文Light Emitting Diode的缩写，中文意思是“光发射二极管”或者“发光二极管”。尤其指氮化镓材料的蓝光、绿光、紫光(紫外)、白光发光二极管。