[实用新型]ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装有效
| 申请号： | 201720748867.4 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN207255856U | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 曾探;石煜;王志强 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B5/04 | 分类号： | B24B5/04;B24B41/06 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司32243 | 代理人： | 胡定华 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ito 圆筒 靶材磨外圆 夹持 工装 | ||
【权利要求书】：
1.一种ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装，包括支撑轴杆（1），所述支撑轴杆（1）上设置有支撑块（2），所述支撑轴杆（1）两端设置有固定卡盘（3），其特征在于：所述支撑块（2）两端设置有倒锥形的旋转调整块（4），通过旋转调整块（4）对支撑块（2）的外圆半径进行调整，所述旋转调整块（4）上设置有固定卡块（5）。
2.如权利要求1所述的ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装，其特征在于：所述固定卡盘（3）上设置有锁紧旋盘（6），所述锁紧旋盘（6）垂直对固定卡盘（3）进行锁紧。
3.如权利要求1所述的ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装，其特征在于：所述支撑块（2）表面设置有凹陷（7），所述凹陷（7）内设置有硅胶圈，通过硅胶圈对套装在支撑块（2）外部的圆筒靶材进行缓冲。
4.如权利要求1所述的ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装，其特征在于：所述旋转调整块（4）上设置有指示尺寸线（8），通过指示尺寸线（8）对旋转调整块（4）调整的支撑块（2）外圆直径大小进行指示。
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