[实用新型]ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装

说明书

技术领域

本实用新型涉及靶材制造领域，尤其涉及一种ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装。

背景技术

目前在ITO圆筒靶材烧结完成后，外径表面会形成不规则圆形，必须对其外表面进行研磨以达到客户要求的尺寸。由于ITO圆筒靶在磨外径时，靶材、工装和砂轮都是快速旋转的，且ITO靶材为陶瓷靶材，属于脆硬材料，极易碰裂，所以对工装和靶材的贴合性、材质都要求较高。普通工装要么容易把靶材碰裂；要么贴合性不好，磨出来的外径尺寸超出客户要求；而且操作复杂。因此，解决ITO圆筒靶材外表面研磨容易损伤靶材且外径尺寸不易控制的问题就显得尤为重要了。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装，通过支撑轴杆进行支撑并安装在打磨机转动杆上，通过支撑块对ITO圆筒靶材进行支撑，并由旋转调整块对支撑块的外圆直径大小进行调节，使其保证ITO圆筒靶材的外圆直径，解决了ITO圆筒靶材外表面研磨容易损伤靶材且外径尺寸不易控制的问题。

本实用新型提供一种ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装，包括支撑轴杆，所述支撑轴杆上设置有支撑块，所述支撑轴杆两端设置有固定卡盘，所述支撑块两端设置有倒锥形的旋转调整块，通过旋转调整块对支撑块的外圆半径进行调整，所述旋转调整块上设置有固定卡块。

进一步改进在于：所述固定卡盘上设置有锁紧旋盘，所述锁紧旋盘垂直对固定卡盘进行锁紧。

进一步改进在于：所述支撑块表面设置有凹陷，所述凹陷内设置有硅胶圈，通过硅胶圈对套装在支撑块外部的圆筒靶材进行缓冲。

进一步改进在于：所述旋转调整块上设置有指示尺寸线，通过指示尺寸线对旋转调整块调整的支撑块外圆直径大小进行指示。

本实用新型的有益效果：通过支撑轴杆进行支撑并安装在打磨机转动杆上，通过支撑块对ITO圆筒靶材进行支撑，并由旋转调整块对支撑块的外圆直径大小进行调节，使其保证ITO圆筒靶材的外圆直径，提高ITO圆筒靶材的外圆研磨精度，并通过凹陷内设置的硅胶圈对ITO圆筒靶材进行缓冲保护，避免损坏ITO圆筒靶材。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

其中：1-支撑轴杆，2-支撑块，3-固定卡盘，4-旋转调整块，5-固定卡块，6-锁紧旋盘，7-凹陷，8-指示尺寸线。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

如图1所示，本实施例提供一种ITO圆筒靶材磨外圆夹持工装，包括支撑轴杆1，所述支撑轴杆1上设置有支撑块2，所述支撑轴杆1两端设置有固定卡盘3，所述支撑块2两端设置有倒锥形的旋转调整块4，通过旋转调整块4对支撑块2的外圆半径进行调整，所述旋转调整块4上设置有固定卡块5。所述固定卡盘3上设置有锁紧旋盘6，所述锁紧旋盘6垂直对固定卡盘3进行锁紧。所述支撑块2表面设置有凹陷7，所述凹陷7内设置有硅胶圈，通过硅胶圈对套装在支撑块2外部的圆筒靶材进行缓冲。所述旋转调整块4上设置有指示尺寸线8，通过指示尺寸线8对旋转调整块4调整的支撑块2外圆直径大小进行指示。通过支撑轴杆1进行支撑并安装在打磨机转动杆上，通过支撑块2对ITO圆筒靶材进行支撑，并由旋转调整块4对支撑块2的外圆直径大小进行调节，使其保证ITO圆筒靶材的外圆直径，提高ITO圆筒靶材的外圆研磨精度，并通过凹陷7内设置的硅胶圈对ITO圆筒靶材进行缓冲保护，避免损坏ITO圆筒靶材。