[实用新型]一种防护工具

权利要求书

1.一种防护工具，适用于在维护化学气相沉积设备时保护静电吸盘，所述化学气相沉积设备包括静电吸盘基座，所述静电吸盘设置于所述静电吸盘基座内，其特征在于，所述静电吸盘基座具有向上的圆形的开口；

所述防护工具包括一圆盘状的盖体，所述盖体包括至少一个定位结构，用以扣合于所述静电吸盘基座上并封盖所述开口。

2.如权利要求1所述的防护工具，其特征在于，所述盖体包括：

一与所述开口形状适配的盖板，所述盖板包括背向所述开口的正面和朝向所述开口的反面；

环形凸缘，垂直向下的环设于所述盖板的反面的边缘处；

于所述盖体封盖所述开口时，所述环形凸缘接触所述开口。

3.如权利要求2所述的防护工具，其特征在于，所述定位结构包括：

均布于所述开口上且垂直向上的定位销；

均布于所述环形凸缘上且位置与所述定位销对应的定位孔；

于所述盖体封盖所述开口时，所述定位销伸入对应的所述定位孔中。

4.如权利要求3所述的防护工具，其特征在于，所述定位销设置有两个。

5.如权利要求2所述的防护工具，其特征在于，所述盖板由透明材质制成。

6.如权利要求5所述的防护工具，其特征在于，所述盖板上设置有刻度尺。

7.如权利要求6所述的防护工具，其特征在于，所述刻度尺设置于所述盖板的所述正面。

8.如权利要求6所述的防护工具，其特征在于，所述刻度尺设置于所述盖板的所述反面。

9.如权利要求6所述的防护工具，其特征在于，所述刻度尺为十字形坐标系，所述十字形坐标系的原点设置于所述盖板的圆心。

10.如权利要求1所述的防护工具，其特征在于，所述盖体由工程塑料制成。