[实用新型]应用于涂胶设备的吸盘装置及涂胶设备

权利要求书

1.一种应用于涂胶设备的吸盘装置，具有沿轴向贯穿所述吸盘装置的真空吸孔，所述真空吸孔与真空发生设备连通，所述吸盘装置的上端面用以承载芯片，其特征在于：所述吸盘装置上端具有台阶形结构，其中上台阶面形成有一个以上环形凹槽，所述环形凹槽与所述上台阶面承载的芯片及真空吸孔同轴设置，同时所述环形凹槽还与真空吸孔连通。

2.根据权利要求1所述的应用于涂胶设备的吸盘装置，其特征在于：所述台阶形结构为双层台阶结构，其中下台阶面的直径大于上台阶面的直径。

3.根据权利要求1所述的应用于涂胶设备的吸盘装置，其特征在于：所述上台阶面的直径小于或等于所述芯片的直径。

4.根据权利要求1所述的应用于涂胶设备的吸盘装置，其特征在于：所述上台阶面形成有同轴设置的两个以上环形凹槽，所述的两个以上环形凹槽经形成于所述上台阶面的条形槽与所述真空吸孔连通。

5.根据权利要求4所述的应用于涂胶设备的吸盘装置，其特征在于：所述条形槽包括两个以上沿径向连续延伸的条形槽，且其中两个条形槽相互垂直交叉，每一条形槽还均与所述的两个以上环形凹槽交叉。

6.根据权利要求4或5所述的应用于涂胶设备的吸盘装置，其特征在于：所述环形凹槽或条形槽的横向截面形状包括U形、V形、矩形或梯形。

7.根据权利要求1所述的应用于涂胶设备的吸盘装置，其特征在于：所述吸盘装置的下端面还形成有一固定槽，所述固定槽用以与涂胶设备的吸盘连接。

8.根据权利要求7所述的应用于涂胶设备的吸盘装置，其特征在于：所述固定槽为圆柱形凹槽，且所述固定槽的槽底面为平整面。

9.根据权利要求7所述的应用于涂胶设备的吸盘装置，其特征在于：所述固定槽与所述吸盘装置的真空吸孔及所述涂胶设备的吸盘同轴设置。

10.一种涂胶设备，包括吸盘，其特征在于：所述吸盘还与权利要求1-9中任一项所述的吸盘装置固定连接。