[实用新型]电连接件及等离子体产生装置

权利要求书

1.一种电连接件，用于使第一连接柱和第二连接柱电连接；其特征在于，包括本体，

所述本体上设置有第一孔，且在所述第一孔的侧壁上设置有用于放置第一弹性件的第一凹部，所述第一连接柱可插入所述第一孔内和自所述第一孔内拔出，在所述第一连接柱插入所述第一孔内时所述第一弹性件被压缩在所述第一连接柱和所述第一凹部之间，从而固定所述第一连接柱；

所述第二连接柱与所述本体电连接；

所述第一弹性件与所述第一连接柱和所述本体电连接。

2.根据权利要求1所述的电连接件，其特征在于，在所述本体上还设置有第二孔，且在所述第二孔的侧壁上设置有用于放置第二弹性件的第二凹部，所述第二连接柱可插入所述第二孔内和自所述第二孔内拔出，在所述第二连接柱插入所述第二孔内时所述第二弹性件被压缩在所述第二连接柱和所述第二凹部之间，从而固定所述第二连接柱；

所述第二弹性件与所述第二连接柱和所述本体电连接。

3.根据权利要求1所述的电连接件，其特征在于，所述第一孔为通孔，

所述第一凹部设置在所述通孔的侧壁上；

在所述通孔的侧壁上还设置有用于放置第二弹性件的第二凹部；

所述第一凹部和所述第二凹部沿所述通孔的轴向间隔设置；

所述第一连接柱和所述第二连接柱分别可自所述通孔的两端插入所述通孔内和自所述通孔的两端拔出；

所述第二弹性件与所述第二连接柱和所述本体电连接；

在所述第二连接柱插入所述通孔内时所述第二弹性件被压缩在所述第二连接柱和所述第二凹部之间，从而固定所述第二连接柱。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的电连接件，其特征在于，所述本体采用导电材料制成。

5.根据权利要求1所述的电连接件，其特征在于，所述第一弹性件采用导电材料制成。

6.根据权利要求2或3所述的电连接件，其特征在于，所述第二弹性件采用导电材料制成。

7.根据权利要求1所述的电连接件，其特征在于，所述第一凹部数量为至少两个，

至少两个所述第一凹部沿所述第一孔的周向间隔且均匀设置；

所述第一弹性件与所述第一凹部一一对应设置。

8.根据权利要求2所述的电连接件，其特征在于，所述第二凹部的数量为至少两个，

至少两个所述第二凹部沿所处的所述第二孔的周向间隔且均匀设置；

所述第二弹性件与所述第二凹部一一对应设置。

9.根据权利要求3所述的电连接件，其特征在于，所述第二凹部的数量为至少两个，

至少两个所述第二凹部沿所处的所述通孔的周向间隔且均匀设置；

所述第二弹性件与所述第二凹部一一对应设置。

10.根据权利要求1所述的电连接件，其特征在于，所述第一弹性件为鼓形弹簧；

所述鼓形弹簧包括沿所述第一孔的轴向分布的多个叶片；

每个所述叶片的形状为曲面，所述叶片相对的两端分别用于作为与受力面线接触的接触端。

11.根据权利要求2所述的电连接件，其特征在于，所述第二弹性件为鼓形弹簧；

所述鼓形弹簧包括沿所处的所述第二孔的轴向分布的多个叶片；

每个所述叶片的形状为曲面，所述叶片相对的两端分别用于作为与受力面线接触的接触端。

12.根据权利要求3所述的电连接件，其特征在于，所述第二弹性件为鼓形弹簧；

所述鼓形弹簧包括沿所处的所述通孔的轴向分布的多个叶片；

每个所述叶片的形状为曲面，所述叶片相对的两端分别用于作为与受力面线接触的接触端。

13.一种等离子体产生装置，包括感应线圈、匹配器和电连接件，其特征在于，所述感应线圈通过所述匹配器与射频电源相连；

所述电连接件电连接所述感应线圈引出的第一连接柱和所述匹配器引出的第二连接柱，所述电连接件采用权利要求1-12任意一项所述的电连接件。