[实用新型]电连接件及等离子体产生装置

说明书

本实用新型提供一种电连接件，用于使第一连接柱和第二连接柱电连接，包括本体，所述本体上设置有第一孔，且在所述第一孔的侧壁上设置有用于放置第一弹性件的第一凹部，所述第一连接柱可插入所述第一孔内和自所述第一孔内拔出，在所述第一连接柱插入所述第一孔内时所述第一弹性件被压缩在所述第一连接柱和所述第一凹部之间，从而固定所述第一连接柱；所述第二连接柱与所述本体电连接；所述第一弹性件与所述第一连接柱和所述本体电连接。还提供一种等离子体产生装置。在反应腔室维护时可以快速地打开腔体，从而可以提高反应腔室的安装和维护效率。

技术领域

本实用新型属于微电子加工技术领域，具体涉及一种电连接件及等离子体产生装置。

背景技术

刻蚀反应腔室通常包括电感耦合等离子体腔室和电容耦合等离子体腔室。图1为现有的电感耦合等离子体腔室的结构示意图，请参阅图1，该腔室包括腔体1和等离子体产生装置2，等离子体产生装置2 包括感应线圈21和匹配器22，其中，感应线圈21设置在反应腔室的顶壁的石英盖11上，感应线圈21和匹配器22通过连接条23相连；匹配器22用于与射频电源相连，从而将射频电源输出的射频信号经过匹配器22、连接条23和感应线圈21耦合至腔体1内，将反应腔室内的工艺气体激发形成等离子体；在石英盖11上还设置有屏蔽罩12，用于屏蔽射频电场，使射频电场不会泄露到外部空间对周边人员产生伤害；匹配器22固定在屏蔽罩12上，并且，屏蔽罩12和匹配器22可沿转轴13翻转，例如，反转90°，这样，将感应线圈21和石英盖11 移走，即可打开腔体进行腔室维护。

由于在实际应用中需要连接条23使用螺钉与匹配器22和感应线圈21的连接柱固定相连，因此，在打开腔体时需要至少拆掉连接条23 与感应线圈21的连接柱固定相连的螺钉，而螺钉的拆卸和安装相对较麻烦。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种电连接件及等离子体产生装置，在反应腔室维护时可以快速地打开腔体，从而可以提高反应腔室的安装和维护效率。

为解决上述问题之一，本实用新型提供了一种电连接件，用于使第一连接柱和第二连接柱电连接；包括本体，所述本体上设置有第一孔，且在所述第一孔的侧壁上设置有用于放置第一弹性件的第一凹部，所述第一连接柱可插入所述第一孔内和自所述第一孔内拔出，在所述第一连接柱插入所述第一孔内时所述第一弹性件被压缩在所述第一连接柱和所述第一凹部之间，从而固定所述第一连接柱；所述第二连接柱与所述本体电连接；所述第一弹性件与所述第一连接柱和所述本体电连接。

优选地，在所述本体上还设置有第二孔，且在所述第二孔的侧壁上设置有用于放置第二弹性件的第二凹部，所述第二连接柱可插入所述第二孔内和自所述第二孔内拔出，在所述第二连接柱插入所述第二孔内时所述第二弹性件被压缩在所述第二连接柱和所述第二凹部之间，从而固定所述第二连接柱；所述第二弹性件与所述第二连接柱和所述本体电连接。

优选地，所述第一孔为通孔，所述第一凹部设置在所述通孔的侧壁上；在所述通孔的侧壁上还设置有用于放置第二弹性件的第二凹部；所述第一凹部和所述第二凹部沿所述通孔的轴向间隔设置；所述第一连接柱和所述第二连接柱分别可自所述通孔的两端插入所述通孔内和自所述通孔的两端拔出；所述第二弹性件与所述第二连接柱和所述本体电连接；在所述第二连接柱插入所述通孔内时所述第二弹性件被压缩在所述第二连接柱和所述第二凹部之间，从而固定所述第二连接柱。

优选地，所述本体采用导电材料制成。

优选地，所述第一弹性件采用导电材料制成。

优选地，所述第二弹性件采用导电材料制成。

优选地，所述第一凹部数量为至少两个，至少两个所述第一凹部沿所述第一孔的周向间隔且均匀设置；所述第一弹性件与所述第一凹部一一对应设置。