[实用新型]一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机

权利要求书

1.一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括固定底座（14），其特征在于：所述固定底座（14）的内部一侧设置有蓄电池（17），所述蓄电池（17）的一侧设置有液压泵（16），所述液压泵（16）的一侧设置有液压油箱（15），所述固定底座（14）的一侧设置有急停开关（13），且固定底座（14）上方中间位置处设置有液压缸（12），所述液压缸（12）的两侧对称设置有支撑柱（1），且液压缸（12）通过液压油管（18）与液压泵（16）连接，所述液压缸（12）的上方安装有伸缩杆（19），所述伸缩杆（19）的上方设置有第二滑杆（11），所述第二滑杆（11）的上方安装有下固定夹具（10），所述下固定夹具（10）的上方设置有上固定夹具（3），所述上固定夹具（3）通过安装座（4）和连接杆（5）与第一滑杆（2）固定连接，所述第一滑杆（2）的上方中间位置处设置有润滑油箱（6），所述润滑油箱（6）的两侧对称设置有润滑油管（8），所述润滑油管（8）上安装有电磁阀（7），其中一个所述支撑柱（1）的一侧安装有KS02Y控制器（9），所述上固定夹具（3）包括有压力台（31）、PTS403压力传感器（32）、夹具本体（33）、固定板（34）、DEE拉力传感器（35）、固定柱（36）、调节手柄（37）、调节旋钮（38）和转轴（39），所述夹具本体（33）上通过调节旋钮（38）转动连接有转轴（39），所述转轴（39）的上方设置有PTS403压力传感器（32），所述PTS403压力传感器（32）的上方设置有压力台（31），所述转轴（39）的下方设置有固定板（34），且固定板（34）与转轴（39）的连接位置处设置有DEE拉力传感器（35），所述固定板（34）的两侧对称设置有固定柱（36），所述固定柱（36）的一侧安装有调节手柄（37），所述PTS403压力传感器（32）、DEE拉力传感器（35）、电磁阀（7）、急停开关（13）和液压泵（16）均与KS02Y控制器（9）电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述第二滑杆（11）与支撑柱（1）滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述固定底座（14）与液压泵（16）通过螺栓固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述安装座（4）与连接杆（5）通过螺栓固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述支撑柱（1）与固定底座（14）通过焊接固定。