[实用新型]一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机

说明书

技术领域

本实用新型属于测试机技术领域，具体涉及一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。推拉力测试机用于在半导体晶圆生产过程中对产品的质量进行检测，推拉力测试机用于测试各种材料、半成品及成品的抗拉强度、抗压强度及伸长量，可做剥离、撕裂、抗弯、抗折、压缩等试验，适合金属、塑料、橡胶、纺织品、合成化学制品、电线电缆、皮革等行业使用。

现有的推拉力测试机在使用过程中存在一些缺陷，例如推拉力测试机在进行检测时，当需要分别检测推力和拉力时，需要对夹具进行更换，使用不方便，以及没有设置自动润滑装置，维护不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，以解决上述背景技术中提出的推拉力测试机在进行检测时，当需要分别检测推力和拉力时，需要对夹具进行更换，使用不方便，以及没有设置自动润滑装置，维护不方便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括固定底座，所述固定底座的内部一侧设置有蓄电池，所述蓄电池的一侧设置有液压泵，所述液压泵的一侧设置有液压油箱，所述固定底座的一侧设置有急停开关，且固定底座上方中间位置处设置有液压缸，所述液压缸的两侧对称设置有支撑柱，且液压缸通过液压油管与液压泵连接，所述液压缸的上方安装有伸缩杆，所述伸缩杆的上方设置有第二滑杆，所述第二滑杆的上方安装有下固定夹具，所述下固定夹具的上方设置有上固定夹具，所述上固定夹具通过安装座和连接杆与第一滑杆固定连接，所述第一滑杆的上方中间位置处设置有润滑油箱，所述润滑油箱的两侧对称设置有润滑油管，所述润滑油管上安装有电磁阀，其中一个所述支撑柱的一侧安装有KS02Y控制器，所述上固定夹具包括有压力台、PTS403压力传感器、夹具本体、固定板、DEE拉力传感器、固定柱、调节手柄、调节旋钮和转轴，所述夹具本体上通过调节旋钮转动连接有转轴，所述转轴的上方设置有PTS403压力传感器，所述PTS403压力传感器的上方设置有压力台，所述转轴的下方设置有固定板，且固定板与转轴的连接位置处设置有DEE拉力传感器，所述固定板的两侧对称设置有固定柱，所述固定柱的一侧安装有调节手柄，所述PTS403压力传感器、DEE拉力传感器、电磁阀、急停开关和液压泵均与KS02Y控制器电性连接。

优选的，所述第二滑杆与支撑柱滑动连接。

优选的，所述固定底座与液压泵通过螺栓固定连接。

优选的，所述安装座与连接杆通过螺栓固定连接。

优选的，所述支撑柱与固定底座通过焊接固定。

本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果：

（1）本实用新型设置了通过转轴分别安装用于做推力实验和拉力实验的夹台，可以根据测试的需要来通过调节旋钮进行调节，不需要更换夹台，使用更加方便，节省了人力。

（2）本实用新型设置了润滑油箱和电磁阀，可以通过KS02Y控制器控制电磁阀开关对支撑柱进行润滑加油。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型上固定夹具的结构示意图；

图3为本实用新型的俯视图；

图中：1-支撑柱、2-第一滑杆、3-上固定夹具、31-压力台、32-PTS403压力传感器、33-夹具本体、34-固定板、35-DEE拉力传感器、36-固定柱、37-调节手柄、38-调节旋钮、39-转轴、4-安装座、5-连接杆、6-润滑油箱、7-电磁阀、8-润滑油管、9-KS02Y控制器、10-下固定夹具、11-第二滑杆、12-液压缸、13-急停开关、14-固定底座、15-液压油箱、16-液压泵、17-蓄电池、18-液压油管、19-伸缩杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。