[实用新型]加压储藏机构及其减压喷雾成膜装置

权利要求书

1.一种加压储藏机构，其特征在于，包括：

第一容器，其用于容纳溶液；

排出部，其用于排出所述溶液；

设于所述第一容器内的间隔件，其用于将所述溶液与含有非所述溶液组分的介质间隔开；所述间隔件能够在所述第一容器内滑动以推动所述溶液由所述排出部排出。

2.如权利要求1所述的储藏机构，其特征在于：所述间隔件将所述溶液与打压介质间隔开；所述间隔件在所述打压介质的推动下移动。

3.如权利要求1或2所述的储藏机构，其特征在于：

所述第一容器上设有通入所述第一容器内部的输入部，所述输入部用于输入打压气体；所述间隔件将所述打压气体与所述溶液间隔开，所述打压气体作用于所述间隔件使其滑动。

4.如权利要求3所述的储藏机构，其特征在于：所述间隔件将所述第一容器内部分为第一区域和第二区域；所述输入部与所述第一区域相通；所述第二区域容纳所述溶液并与所述排出部相通。

5.如权利要求1或2所述的储藏机构，其特征在于：所述排出部设于所述第一容器的底部或靠近底部设置。

6.如权利要求1或2所述的储藏机构，其特征在于：所述排出部设于所述第一容器的顶部或靠近顶部设置。

7.如权利要求1或2所述的储藏机构，其特征在于：所述间隔件的材料为铝、钛、或不锈钢。

8.如权利要求1或2所述的储藏机构，其特征在于：所述间隔件为空心结构。

9.如权利要求1或2所述的储藏机构，其特征在于：所述间隔件的下表面和/或上表面为平面。

10.如权利要求1或2所述的储藏机构，其特征在于：所述间隔件的下表面和/或上表面为曲面。

11.一种减压喷雾成膜装置，其特征在于，包括：

第二容器，其内部能容置基板；

如权利要求1至10任一所述的加压储藏机构；

能将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴，其与所述排出部相连通。

12.如权利要求11所述的成膜装置，其特征在于：还包括打压机构，所述打压机构与所述储藏机构的第一容器内部连通，所述打压机构用于向所述第一容器内部输入打压气体。

13.如权利要求12所述的成膜装置，其特征在于：所述储藏机构的输入部设有第一孔，所述打压机构与所述储藏机构通过第一管道连通；所述第一管道通过所述第一孔伸入所述第一容器内。

14.如权利要求11所述的成膜装置，其特征在于：所述储藏机构的所述排出部设有第二孔，所述喷嘴与所述储藏机构通过第二管道连通；所述第二管道通过所述第二孔伸入所述第一容器内。