[实用新型]加压储藏机构及其减压喷雾成膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及薄膜形成领域，尤其涉及一种加压储藏机构及其减压喷雾成膜装置。

背景技术

已知使用涂布法，浸渍法等湿式法作为在基板的表面上形成薄膜、例如有机膜、无机膜的成膜方法。例如，专利文献1中提出了一种成膜方法，其中，在大气中，在玻璃、塑料等基板的表面上，刻出深10～400nm的刻痕(划痕)，使其具有规定方向的条纹状的精细凹凸面，之后通过涂布按规定组成制作的涂布液(稀释溶液)并使其干燥，从而在所述精细凹凸面上形成规定组成的防污膜(有机膜)。此外，专利文献2中提出了一种成膜方法，其中，将氧化钛粒子混合于水中形成悬浊液，进一步调整为特定的pH后，将该悬浊液涂布在支撑体上并使其干燥，由此形成无机氧化钛膜(无机膜)。

湿式法中所用的涂布液、悬浊液使用的是溶质浓度低的稀溶液。因此，加热干燥后得到的膜的密度低，随之存在形成的膜的功能容易消失的问题。例如，在用湿式法涂布的防污膜中，最表面上形成的膜容易由于擦拭而被刮掉，其防油性有时消失。

与此相对，也考虑使用真空蒸镀法(干式法)在基板上形成薄膜的成膜方法，使用该方法的情况下，成膜时需要形成高真空条件，需要高价的真空排气系统。其结果是难以实现低成本下的成膜。

现有技术文献

专利文献1：日本特开平9-309745号公报

专利文献2：日本特开平6-293519号公报

实用新型内容

为解决上述问题，中国专利申请“2015800002404”提出了一种薄膜的成膜方法和成膜装置，该薄膜的成膜方法和成膜装置将含有2种以上材料的溶液在基于构成该溶液的各材料的蒸汽压而设定的压力的气氛下排出至基板上形成薄膜，不仅可以提高薄膜的耐久性，还可以降低制作成本。

该成膜方法及成膜装置在排出溶液时需要进行加压才能将溶液排出，同时，通过加压也可以控制溶液的排出速率，但是，发明人发现在加压过程中气体会溶解于溶液中，随着加压时间的延长，气体溶解于溶液中的量也逐步增大，从而在溶液减压排出时溶解的气体会形成气泡，气泡到达喷嘴时会使喷嘴形成的喷雾形成间断，导致喷嘴不稳定地排出溶液，影响成膜质量。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种加压储藏机构，包括：

第一容器，其用于容纳溶液；

排出部，其用于排出所述溶液；

设于所述第一容器内的间隔件，其用于将所述溶液与含有非所述溶液组分的介质间隔开；所述间隔件能够在所述第一容器内滑动以推动所述溶液由所述排出部排出。

作为一种优选的实施方式，所述间隔件将所述溶液与打压介质间隔开；所述间隔件在所述打压介质的推动下移动。

作为一种优选的实施方式，所述第一容器上设有通入所述第一容器内部的输入部，所述输入部用于输入打压气体；所述间隔件将所述打压气体与所述溶液间隔开，所述打压气体作用于所述间隔件使其滑动。

作为一种优选的实施方式，所述间隔件将所述第一容器内部分为第一区域和第二区域；所述输入部与所述第一区域相通；所述第二区域容纳所述溶液并与所述排出部相通。

作为一种优选的实施方式，所述排出部设于所述第一容器的底部或靠近底部设置。

作为一种优选的实施方式，所述排出部设于所述第一容器的顶部或靠近顶部设置。

作为一种优选的实施方式，所述间隔件的材料为铝、钛、或不锈钢。

作为一种优选的实施方式，所述间隔件为空心结构。

作为一种优选的实施方式，所述间隔件的下表面和/或上表面为平面。

作为一种优选的实施方式，所述间隔件的下表面和/或上表面为曲面。

一种减压喷雾成膜装置，包括：

第二容器，其内部能容置基板；

如上任一实施方式所述的加压储藏机构；

能将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴，其与所述排出部相连通。

作为一种优选的实施方式，还包括打压机构，所述打压机构与所述储藏机构的第一容器内部连通，所述打压机构用于向所述第一容器内部输入打压气体。

作为一种优选的实施方式，所述储藏机构的输入部设有第一孔，所述打压机构与所述储藏机构通过第一管道连通；所述第一管道通过所述第一孔伸入所述第一容器内。

作为一种优选的实施方式，所述储藏机构的所述排出部设有第二孔，所述喷嘴与所述储藏机构通过第二管道连通；所述第二管道通过所述第二孔伸入所述第一容器内。