[实用新型]一种显影设备

权利要求书

1.一种显影设备，其特征在于：包括用于固定需要喷涂显影液的基板的固定装置，以及与所述固定装置相对设置、用于向所述基板喷涂显影液的喷涂装置，其中，所述喷涂装置在喷涂显影液过程中在平行于所述基板的面上按照预设方式移动，使得显影液均匀喷涂在所述基板上。

2.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述喷涂装置包括喷头体、连杆机构、固定架以及第一电机，所述喷头体与所述固定架连接，所述固定架通过连杆机构与所述第一电机连接。

3.根据权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述喷头体在喷涂显影液过程中在平行于所述基板的面上的移动轨迹为直线或曲线。

4.根据权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述固定架包括水平杆、竖直杆和显影设备平台，所述喷头体与所述水平杆的一端连接，所述水平杆的另一端与所述竖直杆的顶端固定连接，所述竖直杆底端通过轴承以及轴承座活动连接于所述显影设备平台上。

5.根据权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆以及第三连杆，所述第一连杆上设有用于与所述第二连杆铰接的铰接点和用于使得所述铰接点可以沿着所述第一连杆的延伸方向来回移动的滑块及滑道，所述第二连杆连接于所述第三连杆和第一连杆之间，所述第三连杆的一端与所述第二连杆铰接，其另一端与所述第一电机的转动轴连接。

6.根据权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述喷头体包括用于喷淋显影液的第一喷头和用于喷淋水的第二喷头，所述第一喷头的喷孔、所述第二喷头的喷孔均与所述基板相对设置。

7.根据权利要求6所述的显影设备，其特征在于，还包括用于用户切换所述第一喷头与所述第二喷头工作的操作装置。

8.根据权利要求6所述的显影设备，其特征在于，还包括用于控制所述第一喷头、所述第二喷头每次工作时长的控制部件。

9.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述固定装置包括基台以及设置在所述基台上的用于支撑所述基板的支撑平台。

10.根据权利要求9所述的显影设备，其特征在于，所述固定装置中设置有第二电机，用于在喷涂显影液过程中，控制所述支撑平台带动所述基板按照预设方向匀速旋转。