[实用新型]一种温控平台有效

专利信息
申请号: 201720825755.4 申请日: 2017-07-10
公开(公告)号: CN207068804U 公开(公告)日: 2018-03-02
发明(设计)人: 张若男 申请(专利权)人: 昆山龙腾光电有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 北京品源专利代理有限公司11332 代理人: 胡彬
地址: 215301 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 温控 平台
【权利要求书】:

1.一种温控平台,其特征在于,包括:

加热平板,所述加热平板具有多个孔洞,所述孔洞贯穿所述加热平板设置;

支撑体底座,所述支撑体底座位于所述加热平板的第一侧;

多个支撑针,所述支撑针的长度大于所述加热平板的厚度,且穿过所述加热平板在所述孔洞中伸缩运动,所述支撑针的第一端与所述支撑体底座固定;

制冷设备,所述制冷设备包括制冷部和传导气管;所述传导气管与所述支撑体底座和所述多个支撑针接触;

所述支撑体底座与所述加热平板的第一侧表面之间的距离小于等于第一预设距离时,所述支撑针的第二端位于所述加热平板的第二侧,所述制冷设备为所述多个支撑针制冷。

2.根据权利要求1所述的温控平台,其特征在于,所述支撑体底座包括底座和框架;所述框架为网格状;所述多个支撑针固定在所述框架上,所述框架固定在所述底座上;

所述传导气管围绕所述底座设置。

3.根据权利要求1所述的温控平台,其特征在于,所述传导气管设置有通气孔,所述制冷部中设置有制冷剂;

所述支撑体底座与所述加热平板的第一侧平面之间的距离小于等于第一预设距离时,所述支撑针的第二端位于所述加热平板的第二侧,所述制冷部通过所述通气孔将所述制冷剂喷洒到所述支撑体底座和所述多个支撑针上。

4.根据权利要求3所述的温控平台,其特征在于,所述制冷剂包括四氟乙烷。

5.根据权利要求1所述的温控平台,其特征在于,所述支撑体底座和所述支撑针为金属材料。

6.根据权利要求1所述的温控平台,其特征在于,所述温控平台还包括多个加热器,每一个所述加热器与每一个所述支撑针接触;

所述支撑体底座与所述加热平板的第一侧平面之间的距离等于第二预设距离时,所述支撑针的第二端与所述加热平板第二侧表面平齐,所述多个加热器同时开启为所述多个支撑针加热。

7.根据权利要求6所述的温控平台,其特征在于,所述多个加热器位于所述加热平板的第一侧。

8.根据权利要求6所述的温控平台,其特征在于,所述加热器包括加热电阻。

9.根据权利要求8所述的温控平台,其特征在于,所述温控平台还包括电源和开关元件,所述电源、开关元件与所述多个加热电阻组成加热电路;

多个所述加热电阻并联后的一端通过所述开关元件与所述电源的正极连接;多个所述加热电阻并联后的另一端与所述电源的负极连接;

多个所述加热电阻具有相同的电阻值。

10.根据权利要求1所述的温控平台,其特征在于,所述温控平台还包括位置传感器,所述位置传感器位于所述加热平板的第一侧,用于检测所述支撑体底座与所述加热平板的第一侧表面之间的距离。

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