[实用新型]一种高真空腔体用新型主阀有效
| 申请号： | 201720835728.5 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN207195796U | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 叶飞 | 申请（专利权）人： | 无锡爱尔华精机有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/12 | 分类号： | F16K31/12;F16K41/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 体用 新型 | ||
【权利要求书】：
1.一种高真空腔体用新型主阀，包括气缸（1）、气缸轴（2）和阀板（4），其特征在于：所述气缸（1）设置为密封结构，所述气缸（1）顶端设有浮动封头（5），所述气缸（1）内设置有气缸轴（2），所述气缸轴（2）一端固定在气缸（1）顶端的浮动封头（5）上，气缸轴（2）的另一端与线性衬套（3）铰接，所述线性衬套（3）的另一端固定在阀板（4）上，所述阀板（4）与气缸（1）底端之间的气缸轴（2）上套有波纹管（7）。
2.根据权利要求1所述的一种高真空腔体用新型主阀，其特征在于：所述气缸（1）设有两个。
3.根据权利要求1所述的一种高真空腔体用新型主阀，其特征在于：所述气缸（1）位于阀板（4）的两端，气缸（1）通过螺栓（6）固定在阀板（4）上。
4.根据权利要求1所述的一种高真空腔体用新型主阀，其特征在于：所述线性衬套（3）上设置有法兰。
5.根据权利要求1所述的一种高真空腔体用新型主阀，其特征在于：所述波纹管（7）设置为金属波纹管。
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