[实用新型]一种高真空腔体用新型主阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及主阀技术领域，具体为一种高真空腔体用新型主阀。

背景技术

玻璃镀膜是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求的工艺。

主要有真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶—凝胶法等。磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是目前生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与磁控溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被真空溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。该方法的特点是设备投入少、易调控，产品成本低、化学稳定性好，可进行热加工，是目前最有发展前途的生产方法之一。溶胶—凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单，稳定性也好，不足之处是产品光透射比太高，装饰性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高真空腔体用新型主阀，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高真空腔体用新型主阀，包括气缸、气缸轴和阀板，所述气缸设置为密封结构，所述气缸顶端设有浮动封头，所述气缸内设置有气缸轴，所述气缸轴一端固定在气缸顶端的浮动封头上，气缸轴的另一端与线性衬套铰接，所述线性衬套的另一端固定在阀板上，所述阀板与气缸底端之间的气缸轴上套有波纹管。

优选的，所述气缸设有两个。

优选的，所述气缸位于阀板的两端，气缸通过螺栓固定在阀板上。

优选的，所述线性衬套上设置有法兰。

优选的，所述波纹管设置为金属波纹管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，只需要气缸、气缸轴和阀板，方便使用，维修简单，耐用，节省了大量材料，可节约成本达70%；阀板在上下运行的过程中，由于没有相对摩擦，只要波纹管不破损始终能保持密封状态，大大提高了装置的可靠。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1-气缸；2-气缸轴；3-线性衬套；4-阀板；5-浮动封头；6-螺栓；7-波纹管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种高真空腔体用新型主阀，包括气缸1、气缸轴2和阀板4，气缸1设置为密封结构，气缸1顶端设有浮动封头5，气缸1内设置有气缸轴2，气缸轴2一端固定在气缸1顶端的浮动封头5上，气缸轴2的另一端与线性衬套3铰接，线性衬套3的另一端固定在阀板4上，阀板4与气缸1底端之间的气缸轴2上套有波纹管7，气缸1设有两个，气缸1位于阀板4的两端，气缸1通过螺栓6固定在阀板4上，线性衬套3上设置有法兰，波纹管7设置为金属波纹管，阀板4在上下运行的过程中，由于没有相对摩擦，只要波纹管7不破损始终能保持密封状态，大大提高了装置的可靠。

工作原理：结构简单，只需要气缸1、气缸轴2和阀板4，方便使用，维修简单，耐用，节省了大量材料，可节约成本达70%，阀板4在上下运行的过程中，由于没有相对摩擦，只要波纹管7不破损始终能保持密封状态，大大提高了装置的可靠。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。