[实用新型]一种晶圆升降电机的传动带调节装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆升降电机的传动带调节装置，属于电机传动技术领域。

背景技术

目前，半导体制程设备中，常常需要用电机通过传动带带动滚珠丝杆，来控制晶圆的升降。而传动带通过摩擦来传递动力，因此传动带要调整张紧力以获得合适的摩擦力。通过调整传动带的张紧度可以调整传动带和齿轮之间的摩擦力，传动带的张紧度可通过调节电机位置进行调整。另外传动带过紧会使传动带磨损严重，过松则易产生打滑现象，使传动带严重磨损甚至烧坏。

发明内容

本实用新型提供一种的稳定可靠、张紧可调、结构简单的一种晶圆升降电机的传动带调节装置，以解决上述背景技术提出的问题 ；

一种晶圆升降电机的传动带调节装置，它包括一个电机固定座、一个底座、一个调节杆、一个调节杆垫块、一个固定导杆；其特征在于：所述的电机固定座固定于底座上方 ；所述的调节杆穿插在底座和电机固定座的螺纹孔上；所述的调节杆垫块套在调节杆上并置于调节杆与底座之间；所述的固定杆穿插在底座和电机固定座的通孔上；

还包括所述的电机固定座的上的有两个孔洞，其中一个为螺纹孔、一个为通孔;

与现有技术相比，本实用新型设计具有结构简单、方便调节、稳定性高等特点。经试验可显著的提高设备工作性能。

附图说明

图1为本实用新型的总体结构示意图。

图2为本实用新型的电机固定座示意图。

图3为本实用新型的调节杆示意图。

1. 电机固定座；2.底座；3.调节杆；4.调节杆垫块；5.固定导杆。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。

一种晶圆升降电机的传动带调节装置，它包括一个电机固定座1、一个底座2、一个调节杆3、一个调节杆垫块4、一个固定导杆5；其特征在于：所述的电机固定座1固定于底座2上方 ；所述的调节杆3穿插在底座2和电机固定座1的螺纹孔2-1上；所述的调节杆垫块4套在调节杆3上并置于调节杆3与底座2之间；所述的固定导杆5穿插在底座2和电机固定座1的通孔2-2上；

还包括所述的电机固定座1上有两个孔洞，其中一个为螺纹孔2-1、一个为通孔2-2。

本实用新型工作原理是：

将底座2固定于设备上，当调节杆3向里拧时，调节杆3带动电机固定座2水平向外移动，从而使传动带拉紧；当调节杆3向外拧时，调节杆3带动电机固定座2水平向里移动，从而使传动带变松；由此来实现对电机传动带的张紧度调节。