[实用新型]一种薄膜生产设备用低温超导磁体

权利要求书

1.一种薄膜生产设备用低温超导磁体，包括装置本体（4），其特征在于：所述装置本体（4）的中间设有中磁性条形磁体（5），所述中磁性条形磁体（5）的外侧设有第一杜瓦容器（6），所述第一杜瓦容器（6）的外侧设有第二杜瓦容器（3），所述第二杜瓦容器（3）的外侧设有电磁屏蔽线圈（2），所述电磁屏蔽线圈（2）的外侧设有第三杜瓦容器（1）、第三杜瓦容器（1）的外侧设有保护层（12），所述第一杜瓦容器（6）、第二杜瓦容器（3）、电磁屏蔽线圈（2）、第三杜瓦容器（1）、保护层（12）的上端设有上固定板（7），所述第一杜瓦容器（6）、第二杜瓦容器（3）、电磁屏蔽线圈（2）、第三杜瓦容器（1）、保护层（12）的下方设有下固定板（10）。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜生产设备用低温超导磁体，其特征在于：所述第二杜瓦容器（3）的上端设有液态氦注入口（8），所述液态氦注入口（8）的另一端上设有微型制冷机（11）。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜生产设备用低温超导磁体，其特征在于：所述中磁性条形磁体（5）的N极、S极分别凸出上固定板（7）、下固定板（10）。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜生产设备用低温超导磁体，其特征在于：所述第一杜瓦容器（6）与中磁性条形磁体（5）之间设有散热间隙（9），所述散热间隙（9）的大小为2mm-4mm，所述第一杜瓦容器（6）为半圆形柱状体。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜生产设备用低温超导磁体，其特征在于：所述第一杜瓦容器（6）、第二杜瓦容器（3）、电磁屏蔽线圈（2）、第三杜瓦容器（1）、保护层（12）均为环状柱状体。

6.根据权利要求1所述的一种薄膜生产设备用低温超导磁体，其特征在于：所述第一杜瓦容器（6）、第二杜瓦容器（3）、第三杜瓦容器（1）的侧壁上镀有银，所述第一杜瓦容器（6）、第二杜瓦容器（3）、第三杜瓦容器（1）的内部注入液态氦。