[实用新型]一种薄膜生产设备用低温超导磁体

说明书

技术领域

本实用新型涉及超导技术领域，具体为一种薄膜生产设备用低温超导磁体。

背景技术

低温超导磁体系统可提供高稳定度、高均匀度、高场强的磁场，低温超导磁体的超导线绕组通常需要温度很低的工作环境。通常，该低温工作环境采用一个内充低温液体 ( 通常为液态氦 ) 的容器提供，超导线绕组浸泡在其中。由于低温液体尤其是液氦价格昂贵，为了减少低温液体汽化、蒸发导致的损耗，通常使用制冷机进行冷却。

用于上述用途的一些类型的薄膜生产设备，在其回热器中含有磁性材料。在制冷机工作时，该磁性材料做往复运动，从而产生频率为 1-1.2Hz 的甚低频电磁干扰。这种电磁干扰作用于磁体系统的工作磁场，结果将导致工作磁场的均匀性和稳定性降低。

目前，为了屏蔽上面提到的甚低频电磁干扰，一般采取屏蔽结构或屏蔽装置；目前的技术方案不同程度的存在屏蔽效果欠佳，成本较高，结构复杂等问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种薄膜生产设备用低温超导磁体，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种薄膜生产设备用低温超导磁体，包括装置本体，所述装置本体的中间设有中磁性条形磁体，所述中磁性条形磁体的外侧设有第一杜瓦容器，所述第一杜瓦容器的外侧设有第二杜瓦容器，所述第二杜瓦容器的外侧设有电磁屏蔽线圈，所述电磁屏蔽线圈的外侧设有第三杜瓦容器、第三杜瓦容器的外侧设有保护层，所述第一杜瓦容器、第二杜瓦容器、电磁屏蔽线圈、第三杜瓦容器、保护层的上端设有上固定板，所述第一杜瓦容器、第二杜瓦容器、电磁屏蔽线圈、第三杜瓦容器、保护层的下方设有下固定板。

优选的，所述第二杜瓦容器的上端设有液态氦注入口，所述液态氦注入口的另一端上设有微型制冷机。

优选的，所述中磁性条形磁体的N极、S极分别凸出上固定板、下固定板。

优选的，所述第一杜瓦容器与中磁性条形磁体之间设有散热间隙，所述散热间隙的大小为2mm-4mm，所述第一杜瓦容器为半圆形柱状体。

优选的，所述第一杜瓦容器、第二杜瓦容器、电磁屏蔽线圈、第三杜瓦容器、保护层均为环状柱状体。

优选的，所述第一杜瓦容器、第二杜瓦容器、第三杜瓦容器的侧壁上镀有银，所述第一杜瓦容器、第二杜瓦容器、第三杜瓦容器的内部注入液态氦。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型中，装置本体中的中磁性条形磁体的两端凸出上固定板、下固定板，便于与相应的装置相互连接。

（2）本实用新型中，在中磁性条形磁体的外侧装有第一杜瓦容器、第二杜瓦容器、第三杜瓦容器对中磁性条形磁体进行降温处理，保证中磁性条形磁体一直处于超导的状态；

（3）本实用新型中，在第一杜瓦容器、第二杜瓦容器、第三杜瓦容器上镀有银，能够有效屏蔽电磁干扰，电磁屏蔽线圈采用纯度高于99.5％的纯铜、纯铝材料能够更加有效的屏蔽内、外界的电磁干扰。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的俯视结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。