[实用新型]新型化成针床探针模块

权利要求书

1.一种新型化成针床探针模块，包括底板(101)，探针组件(102)由一对间隔固定在底板(101)上的正极探针(1021)、负极探针(1022)组成，所述正极探针(1021)、负极探针(1022)针头分别穿过底板(101)并位于底板(101)底部下方的锂电池(802)正极柱(803)、负极柱(804)正上方，其特征在于：所述底板(101)上部位于正极探针(1021)、负极探针(1022)之间设置负压装置，所述负压装置穿过底板(101)并位于底板(101)底部下方的锂电池(802)注液口(805)正上方，所述负压装置将注液口(805)密封形成负压系统。

2.如权利要求1所述的新型化成针床探针模块，其特征在于：所述负压装置为负压杯模块(110)，所述负压杯模块(110)包括壳体(411)、顶封盖(403)、中封板(402)、吸盘(401)，所述顶封盖(403)通过中封板(402)与壳体(411)上端面密封连接，顶封盖(403)与壳体(411)上端面之间形成水平通道(409)，所述水平通道(409)一端密封，另一端与不锈钢管接头(404)连接，壳体(411)沿竖直方向间隔设置竖直通道(410)，所述竖直通道(410)上端与水平通道(409)连通，下端与吸盘(401)连接，所述壳体(411)位于竖直通道(410)上端设置第一滤芯(407)，所述壳体(411)位于底板(101)上部，所述吸盘(401)穿过底板(101)位于底板(101)下部并朝向锂电池(802)的注液口(805)。

3.如权利要求1或2所述的新型化成针床探针模块，其特征在于：所述负压装置与气液分离器连接。

4.如权利要求2所述的新型化成针床探针模块，其特征在于：所述负压杯模块(110)通过不锈钢管接头(404)与气液分离器(500)连接。

5.如权利要求4所述的新型化成针床探针模块，其特征在于：所述气液分离器(500)包括分主体(501)、端盖(505)，所述主体(501)为中空柱状，下端封闭，上端开口并与端盖(505)密封连接，主体(501)上端面设置带有通孔的内隔板(508)，所述内隔板(508)上端安装第二滤芯(509)，主体(501)下端设置出液口(504)，主体(501)侧面靠近上端设置进口(503)，进口(503)通过不锈钢管接头(404)与负压杯模块(110)连接，端盖(505)侧面设置出气口(502)。

6.如权利要求5所述的新型化成针床探针模块，其特征在于：所述气液分离器(500)通过进液管(701)与废液储存杯(700)连接。

7.如权利要求6所述的新型化成针床探针模块，其特征在于：所述废液储存杯(700)上部、底部分别与进液管(701)、出液管(703)连接，所述进液管(701)、出液管(703)与废液储存杯(700)连接处分别设置进液球阀(702)、出液球阀(704)。

8.如权利要求5所述的新型化成针床探针模块，其特征在于：所述第一滤芯(407)、第二滤芯(509)为不锈钢烧结滤芯或PTFE滤芯。

9.如权利要求1所述的新型化成针床探针模块，其特征在于：所述底板(101)上部位于正极探针(1021)、负极探针(1022)之间与所述负压装置并列设置温度探针(111)，所述温度探针(111)穿过底板(101)。