[实用新型]一种硅片的刻蚀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种刻蚀设备，特别是一种硅片的刻蚀设备。

背景技术

太阳能作为一种安全可靠、经济实惠且容易获得的绿色能源，正在被人们日益关注。因此，太阳能电池的一出现就得到了快速的发展，激烈的竞争使得行业的研究者对如何提高转换效率、降低生产成本展开探索。

太阳能电池原理主要是以半导体材料硅为基体，利用扩散工艺在硅晶体中掺入杂质继而形成电势差，从而形成了太阳能电池。太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。在扩散工序中由于气流的关系，不可避免地在硅片的非扩散面边缘同样形成N区，从而导致硅片短路。因此，需要在扩散后增加一步刻蚀工艺，将硅片上下表面隔断。所以刻蚀技术是太阳能电池片制造工艺中一项相当重要的步骤。

经检索，如中国专利文献公开了一种用于湿刻蚀机的排风装置【申请号：201220106718.5；公开号：CN 202576567U】。这种用于湿刻蚀机的排风装置，其特征在于，包括槽盖、观察窗和槽体，槽盖设于槽体上，在槽盖上设有观察窗，其特征在于，伸缩管下端垂直设于槽盖的定位孔上，调节阀设于伸缩管的下端。

该专利中公开的刻蚀机的排风装置虽然可以提高硅片方阻的均匀性，但是，该刻蚀机的排风装置的结构过于简单，无法将槽内各处的酸性或碱性的雾气排出，清除效果差，因此，设计出一种硅片的刻蚀设备是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种硅片的刻蚀设备，该刻蚀设备具有清除效果好的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种硅片的刻蚀设备，包括机架，其特征在于，所述机架上固定有校正槽和刻蚀槽，校正槽内具有用于输送硅片的若干输送辊一，刻蚀槽内具有用于输送硅片的若干输送辊二，机架上铰接有能将刻蚀槽开口封闭住的盖板，盖板的截面呈倒V形，机架上设置有能将盖板处的雾气进行清除的清除机构，清除机构包括集液盒、刮板、导轨、滑块、抽风管和抽气泵，导轨水平固定在盖板中部，滑块设置在导轨上，滑块与一能带动其来回移动的移动结构相连，刮板通过连杆一和滑块相连，且刮板与盖板内壁相接触，集液盒通过连杆二固定在滑块上，且集液盒位于刮板正下方，抽风管一端通过连杆三固定在滑块上，抽风管另一端穿出盖板与抽气泵相连，抽风管上还设置有单向阀。

本实用新型的工作原理如下：刻蚀槽工作的过程中会形成酸性或碱性的雾气，通过移动结构带动滑块沿着导轨来回移动，滑块带动刮板来回移动，刮板将盖板上的酸性或碱性液体刮掉，并收集在集液盒中，同时，开启抽气泵，通过抽风管将盖板处的酸性或碱性气体抽走，可将盖板各处的雾气去除，清除效果好。

所述移动结构包括驱动电机、齿轮和齿条，齿条水平固定在导轨上，驱动电机固定在滑块上，驱动电机的输出轴水平设置，齿轮固定在驱动电机的输出轴端部，且齿轮与齿条相啮合。

当需要使滑块来回移动时，控制驱动电机的输出轴转动，驱动电机的输出轴带动齿轮转动，齿轮逐渐与齿条相啮合使滑块沿着导轨来回移动，从而可使滑块来回移动。

所述集液盒下部还连接有排液管，排液管上设置有电磁阀。

采用以上结构，通过排液管可方便将集液盒中的液体排出。

所述机架上设置有能对校正槽内的硅片进行喷淋的喷淋机构，喷淋机构包括喷淋管和调节辊，喷淋管通过支架固定在机架上，且喷淋管位于校正槽的正上方，喷淋管侧部开设有若干喷水孔，调节辊设置在校正槽内，且调节辊与输送辊一相互平行，调节辊与一能带动其上下升降的升降结构相连。

当需要对校正槽内的硅片进行喷淋时，通过喷淋管将水喷在硅片的上表面，通过升降结构带动调节辊上下移动，将其调节到所需位置，通过调节辊使硅片在行进过程中呈起伏状态，将水膜均匀的覆盖在硅片的上表面，喷淋效果好。

所述升降结构包括安装架、推杆电机、导杆和导套，安装架固定在机架上，导杆竖直固定在安装架上，导套设置在导杆上，调节辊连接在导套上，推杆电机固定在安装架上，推杆电机的推杆竖直向下，推杆电机的推杆端部和导套相连。

当需要使调节辊上下移动，控制推杆电机的推杆上下移动，推杆电机的推杆带动导套沿着导杆上下移动，导套带动调节辊上下移动，从而可使调节辊上下移动。