[实用新型]一种无损伤硅片吸盘

权利要求书

1.一种无损伤硅片吸盘(11)，其特征在于，包括：

与硅片相接触的吸取部(112)；以及

与吸取部(112)一体成型的根部(111)，

其中，吸取部(112)与硅片相接触面上开设有至少两个吸嘴(1121)，无损伤硅片吸盘(11)的内部开设有通往根部(111)并连通外界的气路(113)，气路(113)与吸嘴(1121)相连通。

2.如权利要求1所述的无损伤硅片吸盘(11)，其特征在于，根部(111)上开设有贯穿其主体的安装孔(1111)，该安装孔(1111)与气路(113)不连通。

3.如权利要求1所述的无损伤硅片吸盘(11)，其特征在于，根部(111)的厚度大于吸取部(112)的厚度，吸取部(112)关于根部(111)偏置设置使得吸嘴(1121)旁侧有足够容纳硅片的空间。

4.如权利要求1所述的无损伤硅片吸盘(11)，其特征在于，气路(113)在无损伤硅片吸盘(11)内部的延伸方向与无损伤硅片吸盘(11)的长度方向相一致。

5.如权利要求4所述的无损伤硅片吸盘(11)，其特征在于，气路(113)的出口设于根部(111)的端部，且气路(113)的出口处设有沿无损伤硅片吸盘(11)的长度伸展方向凸起的气管安装部(1112)。

6.如权利要求1所述的无损伤硅片吸盘(11)，其特征在于，吸取部(112)的端部设有导引头(1122)，该导引头(1122)呈沿无损伤硅片吸盘(11)的长度伸展方向厚度逐渐变薄的楔形结构。

7.如权利要求6所述的无损伤硅片吸盘(11)，其特征在于，导引头(1122)的导引角α大小为5°～15°。

8.如权利要求7所述的无损伤硅片吸盘(11)，其特征在于，导引头(1122)的两侧窄边处设有左导引斜面(1122a)与右导引斜面(1122b)，左导引斜面(1122a)与无损伤硅片吸盘(11)的长度方向夹角β大小为25°～45°，右导引斜面(1122b)与无损伤硅片吸盘(11)的长度方向夹角θ大小为25°～45°。

9.如权利要求3所述的无损伤硅片吸盘(11)，其特征在于，根部(111)的厚度为3.5～5.0mm，吸取部(112)的厚度为2.0～2.8mm。

10.如权利要求1～9任一项所述的无损伤硅片吸盘(11)，其特征在于，该无损伤硅片吸盘(11)由陶瓷材料制成。