[实用新型]一种管式PECVD结构有效
| 申请号： | 201720882670.X | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN207512258U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 谢明会;赵洪俊;平国庆;何为晋 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司;太仓海润太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/54 | 分类号： | C23C16/54;C23C16/44;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 炉管 连接管 活塞组件 气体压强 本实用新型 连接阀体 推动活塞 向上运动 单向阀 阀体 管式 种管 太阳能电池技术 真空泵抽气 气体回流 真空泵 抽离 隔开 连通 | ||
1.一种管式PECVD结构，其特征在于，包括单向阀(1)，所述单向阀(1)包括阀体(11)和设置于所述阀体(11)内的活塞组件(12)，所述阀体(11)的一端口与所述管式PECVD结构的炉管(2)相连通，另一端口与连接有真空泵的连接管(3)相连通，
所述炉管(2)的连接所述阀体(11)的端口位于所述活塞组件(12)的底部、所述连接管(3)的连接所述阀体(11)的端口位于所述活塞组件(12)的侧部，以使所述活塞组件(12)将所述炉管(2)和所述连接管(3)隔开；
当所述炉管(2)中的气体压强大于所述连接管(3)中的气体压强时，所述炉管(2)中的气体能够推动所述活塞组件(12)向上运动，以使所述炉管(2)和所述连接管(3)连通，气体由所述炉管(2)流入所述连接管(3)内。
2.根据权利要求1所述的管式PECVD结构，其特征在于，所述阀体(11)的顶部和所述活塞组件(12)之间设置弹性件(13)。
3.根据权利要求2所述的管式PECVD结构，其特征在于，所述活塞组件(12)包括套筒(121)和置于所述套筒(121)内且相对于所述套筒(121)可上下移动的活塞(122)，所述套筒(121)固定于所述阀体(11)内侧的顶部，所述弹性件(13)一端穿过所述套筒(121)与所述阀体(11)连接，另一端与所述活塞(122)连接。
4.根据权利要求3所述的管式PECVD结构，其特征在于，所述活塞(122)包括相互连接的活塞杆(1221)和活塞头(1222)，所述活塞杆(1221)穿设在所述套筒(121)内并能相对于所述套筒(121)上下移动，所述活塞头(1222)位于所述套筒(121)的外部，所述活塞头(1222)的直径等于位于所述活塞组件(12)的底部的所述阀体(11)的端口的直径。
5.根据权利要求3或4所述的管式PECVD结构，其特征在于，所述阀体(11) 的顶部且位于所述套筒(121)内设置有至少一根导向柱(1211)，所述导向柱(1211)的长度方向与所述活塞组件(12)的移动方向相同，所述活塞(122)上设置有与所述导向柱(1211)相适配的导向孔，所述导向柱(1211)伸入所述导向孔设置，所述导向柱(1211)外侧套设有所述弹性件(13)。
6.根据权利要求5所述的管式PECVD结构，其特征在于，多根导向柱(1211)在所述套筒(121)顶面的投影以所述套筒(121)顶面的中心为中心环向均匀分布。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
