[实用新型]带电装置有效
| 申请号： | 201720885865.X | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN207976531U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 岩井正宽 | 申请（专利权）人： | 苏州住友电木有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/24 | 分类号： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 刘煜 |
| 地址： | 215021 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 被测定物 带电装置 载置台 静电产生机构 密封树脂 静电 上表面 密封半导体芯片 载置 | ||
【权利要求书】：
1.一种带电装置，其特征在于，具有：
载置被测定物的载置台，所述被测定物的至少上表面是密封半导体芯片的密封树脂；以及
静电产生机构,该静电产生机构通过与载置于所述载置台的所述被测定物的所述上表面沿垂直于所述被测定物的所述上表面的方向反复接触而在所述被测定物产生静电。
2.如权利要求1所述的带电装置，其特征在于，
所述静电产生机构具有：
与所述被测定物的所述上表面接触的接触部件；以及
使所述接触部件沿垂直于所述被测定物的所述上表面的方向往复移动的驱动机构。
3.如权利要求2所述的带电装置，其特征在于，
所述接触部件为橡胶。
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